Крис Мак (ученый) - Chris Mack (scientist)

Крис Мак (род. ок. 1960), специалист в фотолитография. Он получил несколько степеней бакалавра Технологический институт Роуза-Халмана в 1982 г. получил степень магистра электротехники Университет Мэриленда, Колледж-Парк в 1989 г. и докторскую степень в области химического машиностроения Техасский университет в 1998 г.

С литографией он познакомился во время работы в Лаборатории микроэлектроники Московского государственного университета им. АНБ. После назначения в Sematech он оставил свою работу в АНБ и основал FINLE Technologies (1990) для коммерциализации ПРОЛИТ, симулятор, который он разработал для моделирования оптический и химический аспекты фотолитографии. FINLE Technologies была приобретена в феврале 2000 г. KLA-Tencor, которая сейчас продает PROLITH.

В настоящее время он является адъюнкт-преподавателем в Техасский университет в Остине. Он ведет ежеквартальную колонку под названием «Эксперт по литографии».

В 2003 году получил Полупроводниковое оборудование и материалы International Премия SEMI для Северной Америки. В 2005 году он был предметом первой ежегодной конференции Chris Mack Roast на конференции SPIE Microlithography. В 2009 году Мак был награжден Фриц Зернике Награда за микролитографию на SPIE Симпозиум по продвинутой литографии.

Рекомендации

  • «Крис Мак стал членом технического консультативного совета стартапа DFM». EE Times. 14 сентября 2005 г.. Получено 25 марта, 2011.
  • «Победители конкурса SPIE Taps '09». Photonics.com. 23 апреля 2009 г.. Получено 25 марта, 2011.
  • "SPIE назначает Криса Мака редактором журнала" Микро / нанолитография, МЭМС и MOEMS ".'". SPIE. 17 февраля 2011 г.. Получено 25 марта, 2011.
  • Мак, Крис (22 января 2008 г.). Фундаментальные принципы оптической литографии: наука о микротехнологии. Западный Сассекс, Англия: Джон Уайли и сыновья. ISBN  978-0-470-72730-0.

внешняя ссылка