Изменение напряжения под действием света - Light-induced voltage alteration

Изменение напряжения под действием света (ЛИВА) является полупроводником анализ техника, которая использует лазер или же инфракрасный источник света, вызывающий изменения напряжения в устройстве при сканировании луча света по его поверхности. Этот метод основан на генерации электронно-дырочных пар в полупроводниковом материале при воздействии фотонов.

Теория Операции

Анализируемое устройство смещено с использованием источника постоянного тока. Когда источник света сканируется по поверхности кремния, генерируются электронно-дырочные пары. Это вызывает незначительные изменения рабочих характеристик устройства, что может привести к незначительным изменениям напряжения источника питания. Любые изменения, обнаруживаемые в напряжении источника питания, фиксируются и соотносятся с положением источника света на устройстве. Это позволяет отображать физические местоположения, соответствующие колебаниям источника питания, на изображении устройства. Это дает специалисту по анализу устройств конкретные места, в которых устройство может быть исследовано на предмет дефектов.[1]

Примечания

  1. ^ Коул и др. 2004 г., стр. 412–414

Рекомендации

  • Коул, Эд; и другие. (2004), «Методы локализации дефектов с помощью пучка», Анализ отказов микроэлектроники, Парк материалов: ASM International, ISBN  0-87170-804-3.