Подготовка данных маски - Mask data preparation

Подготовка данных маски (MDP), также известный как постобработка макета, это процедура перевода файла, содержащего заданный набор полигонов, из макет интегральной схемы в набор инструкций, которые фотомаска Writer может использовать для создания физической маски. Обычно изменения и дополнения в компоновку микросхемы выполняются, чтобы преобразовать физическую компоновку в данные для производства масок.[1]

Для подготовки данных маски требуется входной файл, который находится в GDSII или же ОАЗИС формат и создает файл в собственном формате, специфичном для средства записи маски.

Процедуры MDP

Процедуры и этапы подготовки данных маски

Хотя исторически преобразование физического макета в данные для производства масок было относительно простым, более поздние процедуры MDP требуют различных процедур:[1]

  • Обработка стружки который включает в себя пользовательские обозначения и структуры для улучшения технологичность макета. Примерами последних являются уплотнительное кольцо и наполнители.
  • Производство макет сетки с тестовыми шаблонами и отметками совмещения.
  • Подготовка макета к маске который расширяет данные макета с помощью графических операций и настраивает данные для маскировки производственных устройств. Этот шаг включает технологии повышения разрешения (RET), например коррекция оптической близости (OPC).

На каждом из этих этапов необходимо также уделять особое внимание смягчению негативных последствий, связанных с огромными объемами данных, которые они могут произвести; слишком много данных иногда может стать проблемой для автора маски, чтобы иметь возможность создать маску за разумное время.

Расположение прицельной марки

Когда должна быть произведена серия микросхем, отдельный кристалл создается несколько раз в виде матрицы для получения того, что называется макет сетки.[1] Этот макет сетки состоит из вертикальных и горизонтальных разметочных линий, разделяющих отдельные матрицы, размещенные в матричном формате. Размер этой матрицы зависит от максимальной экспонируемой площади в зависимости от размера сетки нитей.

Разрушение маски

MDP обычно включает разрушение маски где сложные многоугольники преобразуются в более простые формы, часто прямоугольники и трапеции, которые могут обрабатываться аппаратурой записи масок. Потому что разрушение маски такая обычная процедура в рамках всего MDP, термин перелом, используемое как существительное, иногда используется неуместно вместо термина подготовка данных маски. Период, термин перелом однако точно описывает эту подпроцедуру MDP.

Рекомендации

  1. ^ а б c Дж. Лиениг, Дж. Шайбле (2020). «Глава 3.3: Данные маски: постобработка макета». Основы топологии электронных схем. Springer. п. 102-110. ISBN  978-3-030-39284-0.

дальнейшее чтение

  • Шеффер, Л., Лаваньо, Л., Мартин, Г. (2006). Справочник по автоматизации проектирования электроники для интегральных схем. CRC Press. ISBN  0-8493-3096-3.CS1 maint: несколько имен: список авторов (связь) Обзор поля, из которого частично было составлено это резюме, с разрешения.
  • Лиениг, Дж., Шайбле, Дж. (2020). Основы топологии электронных схем. Springer. Дои:10.1007/978-3-030-39284-0. ISBN  978-3-030-39284-0.CS1 maint: несколько имен: список авторов (связь) В главе 3.3 подробно рассматривается генерация данных маски.