PMUT - PMUT

Пьезоэлектрические микромашинные ультразвуковые преобразователи (PMUT) находятся МЭМС -основан пьезоэлектрический ультразвуковые преобразователи. В отличие от объемных пьезоэлектрических преобразователей, в которых используется движение по толщине пластины из пьезоэлектрический керамика Такие как PZT или же монокристалл PMN-PT, PMUT основаны на изгибном движении тонкой мембраны, соединенной с тонкой пьезоэлектрической пленкой, такой как ПВДФ.[1][2][3][4][5] По сравнению с объемными пьезоэлектрическими ультразвуковыми преобразователями PMUT может предложить такие преимущества, как увеличенная пропускная способность, гибкая геометрия, натуральный акустический импеданс совпадение с водой, пониженные требования к напряжению, смешивание различных резонансные частоты и возможность интеграции с вспомогательными электронными схемами, особенно для миниатюрных высокочастотных приложений.

Рекомендации

  1. ^ Тролье-МакКинстри, Сьюзен; П. Муральт (январь 2004 г.). «Тонкопленочный пьезоэлектрик для МЭМС». Журнал Электрокерамики. 12 (1–2): 7. Дои:10.1023 / B: JECR.0000033998.72845.51.
  2. ^ Хаджати, Арман; и другие. (2012). «Трехмерная микроэлектромеханическая система пьезоэлектрический ультразвуковой преобразователь». Письма по прикладной физике. 101 (25): 253101. Дои:10.1063/1.4772469.
  3. ^ Муральт, Пол (декабрь 2005 г.). «Пьезоэлектрические микромашинные ультразвуковые преобразователи на основе тонких пленок PZT». IEEE Trans Ultrasonics, сегнетоэлектрики. 52 (12): 2276. Дои:10.1109 / TUFFC.2005.1563270.
  4. ^ Цю, Юнцян; и другие. (2015). «Матрицы пьезоэлектрических микромашинных ультразвуковых преобразователей (PMUT) для интегрированных датчиков, срабатывания и визуализации». Датчики. 15 (4): 8020–41. Дои:10,3390 / с150408020. ЧВК  4431219. PMID  25855038.
  5. ^ Браун, Льюис (ноябрь 2000 г.). «Конструктивные соображения для пьезоэлектрического полимерного ультразвукового преобразователя». IEEE Trans Ultrasonics, сегнетоэлектрики. 47 (6): 1377–1396. Дои:10.1109/58.883527. PMID  18238684.