Мониторинг управления процессом - Process control monitoring

В применении интегральные схемы, контроль процесса (PCM) - это процедура, которой следуют для получения подробной информации об используемом процессе.

PCM связан с проектированием и изготовлением специальных структур, которые могут контролировать параметры технологии, такие как Vth в CMOS и Vбыть в биполярных. Эти структуры размещаются поперек пластины в определенных местах вместе с производимым чипом, чтобы можно было более внимательно изучить вариант процесса.