Случайное колебание примеси - Random dopant fluctuation

Случайное колебание примеси (RDF) представляет собой разновидность изменения процесса в результате изменения концентрации имплантированной примеси. В МОП-транзистор транзисторы, RDF в области канала может изменить свойства транзистора, особенно пороговое напряжение. В более новых технологических процессах RDF имеет больший эффект, потому что общее количество присадки меньше, а добавление или удаление нескольких атомы примеси может существенно изменить свойства транзистора. RDF - это локальная форма изменения процесса, означающая, что два соседних транзистора могут иметь существенно разные концентрации примеси.[1]

Рекомендации