Поворотный карманный обогреватель - Rotating pocket heater

А вращающийся карманный обогреватель, также называемый карманным нагревателем или нагревателем Kinder, удерживает и вращает субстрат в течение вакуумное напыление.[1] Во время вращения подложка последовательно подвергается воздействию более чем одной среды, например тепла, кислорода, пара металла и т. Д.[2] Вращающиеся карманные нагреватели использовались в системе реактивного испарения для создания слоев YBa2Cu3O7 на планарный полупроводниковые пластины.[3]

Диборид магния

Поперечное сечение вращающегося карманного нагревателя

На рисунке справа показан пример карманного нагревателя, используемого для нанесения слоев диборид магния на подложке. Вертикальный вал (32) вращает горизонтальный диск (30) на несколько сотен оборотов в минуту (об / мин). На рисунке показаны две из нескольких подложек (14), прикрепленных к нижней стороне вращающегося диска. Подложки прикрепляются по краям, так что большая часть нижних сторон подложек подвергается воздействию паров снизу. Весь аппарат заключен в камеру, в которой с помощью вакуумного насоса поддерживается низкое давление.

Диборид магния (MgB2) представляет собой ионное твердое тело со сверхпроводящими свойствами. Осаждение из паровой фазы затруднено, поскольку давление паров магния намного выше, чем у бора. Карманный обогреватель решает эту проблему, обеспечивая отдельную среду для каждого материала.

Обвинение в шпионаже

В мае 2015 г. ФБР агенты арестовали профессора Сяосин Си, Председатель Темпл университет физический факультет, обвинив его в том, что он поделился схемами карманного обогревателя с китайскими учеными. Прокуратура сняла все обвинения в сентябре 2015 года после того, как было показано, что они неверно истолковали доказательства, и Си никогда не делился схемой карманного обогревателя с кем-либо в Китае.[4] Поворотный карманный нагреватель - это не ограниченная технология, он был впервые изобретен немецкими физиками. Берберих, Пруссейт и Киндер. [2] Theva Dunnschichttechnik GmbH Германии имеет патент на карманный обогреватель.

Рекомендации

  1. ^ Мокли, Б. Н; Руби, У. С. (2006). «Рост качественных тонких пленок MgB2 большой площади методом реактивного испарения». Наука и технологии сверхпроводников. 19 (6): L21 – L24. arXiv:cond-mat / 0601669. Bibcode:2006СукТ..19Л..21М. Дои:10.1088 / 0953-2048 / 19/6 / L02. ISSN  0953-2048.
  2. ^ а б Berberich, P .; Utz, B .; Prusseit, W .; Киндер, Х. (1994). «Однородные высококачественные пленки YBa2Cu3O7 на 3" и 4 "подложках". Physica C: сверхпроводимость. 219 (3–4): 497–504. Bibcode:1994PhyC..219..497B. Дои:10.1016/0921-4534(94)90405-7. ISSN  0921-4534.
  3. ^ Павуна, Давор; Матияшевич, Владимир Ц .; Slycke, Per; Божович, Иван (1998). «Технология реактивного испарения для изготовления пластин YBCO для микроволновых приложений». 3481: 190–196. Дои:10.1117/12.335875. ISSN  0277-786X. Цитировать журнал требует | журнал = (помощь)
  4. ^ Мэтт Апуццо (11 сентября 2015 г.). «США опровергают обвинения в том, что профессор поделился технологиями с Китаем». Нью-Йорк Таймс.