Миграция стресса - Stress migration

Миграция стресса это механизм отказа, который часто возникает в Интегральная схема металлизация (алюминий, медь ). Пустоты образуются в результате миграции вакансий из-за гидростатический градиент напряжения. Большие пустоты могут привести к обрыву цепи или недопустимому увеличению сопротивления, которое ухудшит работу ИС. 'Миграцию стресса часто называют снятие стресса, вызванное стрессом мочеиспускание или же SIV.

Высокотемпературная обработка медных двойных дамаскиновых структур оставляет медь с большим растягивающим напряжением из-за несоответствия в коэффициентах теплового расширения используемых материалов. Напряжение может со временем ослабиться за счет диффузии вакансий, что приведет к образованию пустот и, в конечном итоге, к отказам в разомкнутой цепи.[1]

Рекомендации

  1. ^ Миграция напряжений и механические свойства меди. Алерс и др.