Ультрафиолетовая термическая обработка - Ultraviolet thermal processing
Ультрафиолетовая термическая обработка или же УВТП так называется процесс использования ультрафиолетового света для стабилизации диэлектрик пленки, используемые для изоляции полупроводников.
Описание
Полупроводник пленкам необходимы низкие значения диэлектрической проницаемости (значения k) для оптимального теплопроводность, для обеспечения полупроводниковое масштабирование. Новые диэлектрические пленки, используемые для изоляции современных микросхем, могут быть легко повреждены, что приведет к потере их изоляционной способности. Специализированная обработка ультрафиолетом улучшает характеристики чипа.[1] Вольфрамовые галогенные лампы - это источники, используемые для традиционной быстрой термической обработки.[2][3]
Рекомендации
- ^ Гупта, Нишант (декабрь 2012 г.). «Фототермическая обработка полупроводниковых волокон и тонких пленок». Все диссертации. clemson.edu. Bibcode:2012ФДТ ....... 211Г. Получено 2016-05-03.
- ^ Singh, R .; Cherukuri, K. C .; Vedula, L .; Рохатги, А .; Нараянан, С. (1996-05-13). «Формирование низкотемпературных мелких переходов с использованием фотонов вакуумного ультрафиолета во время быстрой термической обработки». Письма по прикладной физике. scitation.aip.org. 70 (13): 1700–1702. Дои:10.1063/1.118674.
- ^ Быстрая термическая обработка для будущих полупроводниковых устройств. Elsevier Science B.V. 2 апреля 2003 г. ISBN 9780080540269. Получено 2016-05-04.
 | Этот промышленность -связанная статья является заглушка. Вы можете помочь Википедии расширяя это. |