Саймер - Википедия - Cymer
 | Эта статья поднимает множество проблем. Пожалуйста помоги Улучши это или обсудите эти вопросы на страница обсуждения. (Узнайте, как и когда удалить эти сообщения-шаблоны) (Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения)
|
 | |
| Промышленность | Полупроводниковое оборудование |
|---|---|
| Основан | 1986 |
| Штаб-квартира | Сан-Диего, Калифорния |
Ключевые люди | Гарри Борггрев (исполнительный вице-президент ASML / Cymer Technologies Джим Кунмен (генеральный директор Cymer Light Source) Роберт П. Акинс, доктор философии. (Соучредитель / главный технолог по стратегии ASML / старший вице-президент Cymer Technologies) (в отставке)Ричард Л. Сандстром, доктор философии. (Соучредитель / Старший вице-президент / Главный советник по технологиям) (на пенсии) |
| Товары | Источники света DUV, источники света EUV, а также информационные / сервисные продукты для полупроводниковой промышленности |
Количество работников | 1300+ (ноябрь 2015) |
| Интернет сайт | www.cymer.com |
Саймер, ООО., АСМЛ Холдинг компания, американская компания со штаб-квартирой в Сан Диего, Калифорния. Cymer - крупнейший поставщик глубокий ультрафиолет (DUV) источники света, используемые производителями микросхем для создания сложных рисунков. полупроводник чипсы или интегральные схемы.
Cymer в настоящее время занимается разработкой лазерной плазмы нового поколения. крайний ультрафиолет (EUV) источники света.
В октябре 2012 года было объявлено, что Cymer будет приобретен голландским производителем полупроводникового оборудования. ASML. Приобретение закрыто в мае 2013 года.
Корпоративная история
Компания Cymer была основана в 1986 году доктором Робертом Акинсом и доктором Ричардом Сандстромом, которые познакомились в середине 1970-х годов в лабораторном классе в Калифорнийский университет в Сан-Диего. В 1986 году рынок персональных компьютеров открыл Акинсу и Сандстрому возможность применить свои уникальные лазерные знания в области полупроводников. фотолитография.
В 1988 году Cymer поставила свой первый источник света для передовых приложений в области исследований и разработок, чтобы поддержать развитие полупроводниковой литографии. В 1990 году был поставлен источник света второго поколения, и компания быстро прогрессировала, поставив в общей сложности 78 систем источников света в период с 1988 по 1994 год.
В середине 1990-х годов Cymer зарекомендовала себя в качестве источника света в качестве необходимого компонента при разработке передовых полупроводниковых продуктов, и спрос на его источники света начал расти. Чтобы удовлетворить этот спрос, Cymer выпустила первичное публичное размещение акций на NASDAQ в сентябре 1996 года под символом CYMI. IPO компании помогло Cymer предоставить капитал, необходимый для наращивания производственных мощностей и инфраструктуры услуг, необходимых для быстрого роста отрасли.
в бум доткомов В 2000 году Cymer продала 494 новых системы источников света, а в 2002 году компания отгрузила свой 2000-й источник света. К концу десятилетия Cymer отгрузил более 3300 KrF (248 нм) и ArF (193 нм) и иммерсионные источники света ArF по всему миру.
В июне 2009 года Cymer поставила первый в мире полностью интегрированный LPP (производимый лазером плазма Источник света для литографии EUV для ASML Holding в Велдховене, Нидерланды, для интеграции в его сканер EUV.[1] Этот новый тип источника света излучает длину волны 13,5 нм и будет использоваться для создания рисунка на кристаллах как минимум в течение следующего десятилетия.[2]
В июле 2005 года TCZ была создана как совместное предприятие Cymer, Inc. и Carl Zeiss SMT AG для разработки и производства инструмента для кристаллизации кремния для использования в производстве плоских дисплеев и OLED отображает. Инструмент кристаллизации использует технологию источника света Cymer. В январе 2010 года Cymer объявила, что приобретет долю Carl Zeiss в совместном предприятии Cymer / Zeiss TCZ, в результате чего TCZ станет 100% компанией Cymer. В октябре 2012 года Cymer объявила о прекращении своего бизнеса в TCZ.
В октябре 2012 года голландский производитель полупроводникового оборудования ASML объявила, что приобретет Cymer в рамках своей стратегии по оборудованию EUV. Приобретение закрыто в мае 2013 года.
Продукты и технологии
Продукты DUV
Источники света Cymer, которые составляют установленную базу из более чем 3750 поставленных систем, основаны на технологии KrF и ArF, которые обеспечивают свет 248 нм и 193 нм соответственно. Свет на этих длинах волн образуется при воздействии электрического разряда на смесь газов (криптон и фтор (KrF) или аргон и фтор (ArF)). Полученный свет собирается и доставляется в сканирующий экспонирующий инструмент, который используется для создания рисунка на кремниевых пластинах. Линия продуктов Cymer DUV по технологиям включает:
| Технологии | Длина волны | Товар | Заявление |
|---|---|---|---|
| Погружение ArF | 193 нм | XLR 600ix | Множественный паттерн и иммерсионная литография, 32 нм узел и ниже |
| Погружение ArF | 193 нм | XLR 500i | Иммерсионная литография, 45 нм и 65 нм узел |
| ArF Dry | 193 нм | XLA 105 л.с. | Сухая литография, 65 нм и 90 нм узел |
| KrF | 248 нм | ELS 7010x | Сухая литография, 130 нм и 180 нм узел |
| KrF | 248 нм | ELS 7010 | Сухая литография, узел менее 100 нм |
| KrF | 248 нм | ELS 6010 | Сухая литография, узел менее 100 нм |
| KrF | 248 нм | ELS 5010 | Сухая литография, узел менее 100 нм |
Установленные базовые продукты
Источники света, установленные на заводах по производству микросхем, обслуживаются с помощью продуктов поддержки Cymer OnPulse. OnPulse оптимизирует доступность источников света и производительность для производителей микросхем. Новые усовершенствования функций источников света доступны через OnPulse и включают поддержку со стороны полевой службы поддержки Cymer и ИТ-инфраструктуры.
Cymer предлагает два продукта для сбора данных, составления отчетов и анализа, чтобы обеспечить более строгий контроль процесса и улучшить качество пластин. OnPulse Plus обеспечивает мониторинг параметров источника света в реальном времени (т. Е. Энергии, длины волны, полосы пропускания) и корреляцию событий на уровне партии, чтобы избежать отклонений и предотвратить снижение урожайности. SmartPulse обеспечивает мониторинг параметров источника света на уровне пластин и встроенную метрологию луча для оптимизации процесса литографии. OnPulse Plus доступен для всех серий XL, а также для серий ELS 7000 и 6000. SmartPulse доступен для всех источников света серии XL.
Продукция LPP EUV
Cymer разрабатывает новое поколение источников света, чтобы обеспечить продвинутую литографию, превосходящую возможности источников света DUV. Источники света LPP EUV излучают ультрафиолетовый свет с длиной волны 13,5 нм, направляя небольшие капли расплавленного олова с помощью импульсного мощного CO2-лазера.[3][4] Получающаяся в результате плазма производит свет 13,5 нм, который собирается и доставляется в сканер, который используется для изображения схемных рисунков на кремниевых пластинах. Источники света EUV позволят осуществлять фотолитографию ниже узла 22 нм и поддерживать закон Мура.
Саймер в сообществе
| Эта секция содержит контент, который написан как Реклама. (Декабрь 2019 г.) (Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения) |
Саймер поддерживает ряд благотворительных организаций и мероприятий в округе Сан-Диего в пяти областях.[нужна цитата ]
Образование - Соучредители Роберт Акинс и Ричард Сэндстром получили докторскую степень в Калифорнийском университете в Сан-Диего до того, как основали Cymer в 1986 году. С тех пор Саймер поддерживает университет и несколько некоммерческих организаций, нацеленных на продвижение передового опыта в образовании и образовании. признание студентов-ученых всех уровней образования.
Здоровье - Благодаря корпоративным пожертвованиям и волонтерству сотрудников Cymer поддерживает фонды здоровья, которые стремятся найти лекарства от болезней, изменяющих жизнь.
Культура - Саймер ищет и поддерживает организации, которые поощряют творчество в искусстве и предоставляют возможность местному сообществу испытать различные формы творческого самовыражения.
Среда - Cymer поддерживает инициативы, направленные на ответственную утилизацию электронных отходов и продвижение альтернативных подходов, которые снижают воздействие технологических инноваций на окружающую среду.
Гражданский - Саймер ранее поддерживал гражданские инициативы, которые помогают обеспечить безопасность менее удачливых.[5][6]
Рекомендации
- ^ Шенкенберг, Дэвид, Photonics Spectra, октябрь 2009 г., Экстремальное производство полупроводников (онлайн: http://www.photonics.com/Article.aspx?AID=40103 )
- ^ Intel достигает основных вех в программе EUV-литографии (онлайн: http://www.intel.com/pressroom/archive/releases/2004/20040802tech.htm )
- ^ Вагнер, Кристиан и Харнед, Норин, Nature Photonics, январь 2010 г., Vol. 4, № 1, Литография становится экстремальной, с. 24 - 26 (онлайн: http://www.nature.com/nphoton/journal/v4/n1/full/nphoton.2009.251.html )
- ^ Брандт, Дэвид и Фаррар, Найджел, Solid State Technology, сентябрь 2009 г., Источники света для литографии высокой мощности EUV, стр. 10 (онлайн: [1] )
- ^ Cymer Computer Clubhouse открывается в Mission Valley YMCA (онлайн: http://www.computerclubhouse.org/content/cymer-computer-clubhouse-opens-mission-valley-ymca В архиве 2011-08-10 на Wayback Machine )
- ^ Добро пожаловать в сеть Intel Computer Clubhouse Network (онлайн: http://www.computerclubhouse.org/ В архиве 2011-05-11 на Wayback Machine )