Etec Systems, Inc. - Etec Systems, Inc.

Etec Systems
СудьбаПриобретено Прикладные материалы
Основан1970
Несуществующий2005
Товарырастровые электронные микроскопы
инструменты для лазерной литографии

Etec Systems был Американец производитель растровые электронные микроскопы, электронно-лучевая литография инструменты и лазерная литография инструменты с 1970 по 2005 год. Хейворд, Калифорния, и Хиллсборо, Орегон.

История компании

Бывшее здание Etec в Хиллсборо, штат Орегон

Корпорация Etec из Хейворда, Калифорния, была образована в 1970 году как производитель растровые электронные микроскопы (SEM), но позже стал продюсером электронно-лучевая литография инструменты, и производство SEM было прекращено.

Позднее Etec объединилась с ATEQ из Бивертон, Орегон (Район Портленда), который производил лазерная литография инструменты. Объединенная компания получила название «Etec Systems» и предлагала линейку литографии, использующую как электронные, так и лазерные лучи. Эти продукты предназначались для фотошаблонов и сеток, используемых в производстве интегральных схем. В 1999 году часть компании из Бивертона, штат Орегон, была переведена в Хиллсборо, штат Орегон.

Etec был куплен Прикладные материалы в 2000 г. и организована в рамках корпорации Applied Materials как автономная бизнес-группа. В 2000 г. в Хейворде работало 600 человек.[1]

В 2002 году Applied Materials объявила о пересмотре плана закрытия Etec.[2] Etec Systems была поглощена своей материнской компанией Applied Materials в октябре 2005 года.[3]

Товары

Сканирующие электронные микроскопы

Компания Etec, основанная в 1970 году, производила сканирующие электронные микроскопы очень высокого качества; многие инструменты по-прежнему хорошо работают 30 лет спустя.[нужна цитата ] Разработанный Нельсоном Ю, Autoscan дает отличные изображения, превосходя современные инструменты, подверженные цифровому шуму и другим проблемам.

Поскольку MEBES стал основным продуктом, компания была куплена Perkin Elmer, и производство SEM было прекращено.

Инструменты для электронно-лучевой литографии

Спустя некоторое время после 2002 года линейка продуктов, составлявшая исходное предложение Etec (MEBES - Manufacturing Electron Beam Exposure System), была прекращена. Большинство инструментов MEBES III было выведено из эксплуатации в пользу инструментов для лазерной литографии Etec CORE и ALTA, которые имеют более высокую производительность и используют более экологически чистый резист типа IP3500, который не требует процесса разработки на основе растворителя. Тем не менее, в настоящее время во всем мире по-прежнему используется ряд MEBES III и IV.

Инструменты для лазерной литографии

После покупки Etec в 2005 году, компания Applied Materials продолжает разрабатывать и производить линейку инструментов для лазерной литографии Etec. Шведская фирма Micronic AB а немецкая фирма Heidelberg Instruments - конкурент в области лазерных решений для изготовления масок. Однако спрос на инструмент для лазерной литографии Applied Material позволил ему по-прежнему оставаться наиболее широко доступным и используемым инструментом в индустрии фотошаблонов.

Рекомендации

  1. ^ «Архивная копия» (PDF). Архивировано из оригинал (PDF) на 2011-10-01. Получено 2011-11-13.CS1 maint: заархивированная копия как заголовок (связь)
  2. ^ Лапедус, Марк (11 марта 2002 г.). Источники сообщают, что "применен план" пересмотра ", чтобы остановить работу электронного лучевого инструмента".
  3. ^ «Applied Materials покидает бизнес по производству фотошаблонов». www.laserfocusworld.com. Архивировано из оригинал на 2018-04-07. Получено 2018-04-06.

внешняя ссылка

Координаты: 45 ° 32′51 ″ с.ш. 122 ° 53′53 ″ з.д. / 45,5474 ° с.ш.122,898 ° з.д. / 45.5474; -122.898