Ионно-фрезерный станок - Ion milling machine
Ионно-фрезерный станок разжижает образцы до тех пор, пока они не станут прозрачными для электронов, за счет выжигания ионов (обычно аргон ) на поверхности под углом и распыление материал с поверхности. Сделав образец прозрачным для электронов, его можно отобразить и охарактеризовать в просвечивающий электронный микроскоп (ТЕМ). Ионно-лучевое фрезерование также может использоваться для полировки поперечного сечения перед анализом материалов, которые трудно приготовить с помощью механической полировки, перед анализом на СЭМ.
Смотрите также
Эта научная статья заглушка. Вы можете помочь Википедии расширяя это. |