Молекулярное осаждение из паровой фазы - Molecular vapor deposition
 | Эта статья нужны дополнительные цитаты для проверка. (Июль 2015 г.) (Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения) |
Молекулярное осаждение из паровой фазы [1][2] представляет собой газофазную реакцию между химически активными веществами на поверхности и должным образом восприимчивой поверхностью. Часто бифункциональный силаны используются, в которых один конец молекулы является реактивным. Например, функционал хлорсилан (R-Si-Cl3) может реагировать с поверхностью гидроксил группы (-ОН), приводящие к радикализованному (R) осаждению на поверхности. Преимущество газофазной реакции перед сравнимым жидкофазным процессом заключается в контроле влажности окружающей среды, что часто приводит к перекрестной полимеризации силана, приводящей к образованию частиц на обрабатываемой поверхности. Часто нагретая вакуумная камера ниже атмосферного[3] используется для точного контроля реагентов и содержания воды. Кроме того, газофазный процесс позволяет легко обрабатывать сложные детали, поскольку охват реагентом обычно ограничен диффузией. Микроэлектромеханические системы (МЭМС ) датчики часто используют молекулярное осаждение из паровой фазы в качестве метода устранения прикол и другие паразитические проблемы, связанные с взаимодействиями поверхность-поверхность.
Рекомендации
- ^ Джефф Чинн, Борис Кобрин, Виктор Фуэнтес, Шрикант Дасаради, Ричард Йи, Ромуальд Новак, Роберт Ашерст, Ройя Мабудиан, Молекулярное осаждение из паровой фазы (MVD) - новый метод модификации поверхности нанотехнологических устройств, Hilton Head 2004: A Solid Семинар по датчикам, исполнительным элементам и микросистемам, 6–10 июня 2004 г.
- ^ Б. Кобрин, В. Р. Ашерст, Р. Мабудиан, В. Фуэнтес, Р. Новак, Р. Йи и Дж. Чинн, Методика модификации поверхности МВД, Ежегодное собрание AICHE 2004 г., 8 ноября, Остин, Техас
- ^ «Архивная копия». Архивировано из оригинал на 2015-11-15. Получено 2015-07-12.CS1 maint: заархивированная копия как заголовок (связь)
 | Эта статья о нанотехнологиях заглушка. Вы можете помочь Википедии расширяя это. |