Окно процесса - Википедия - Process window

В окно процесса представляет собой график с набором параметров для конкретного производственного процесса, который дает определенный результат. Обычно на такой график наносится несколько параметров с центральной областью, в которой процесс ведет себя хорошо, а внешние границы определяют области, в которых процесс становится нестабильным или дает неблагоприятный результат. Статистическая оценка производительности процесса далее выполняется путем расчета связанных Индекс окна процесса.

Приложения

Типичные приложения находятся в фотолитография ^[1] где отклик фоторезиста на такие параметры, как температура, интенсивность излучения, критический размер и угол боковых стенок конструкций, и т. д. нанесен на график в зависимости от оптического параметра, такого как числовая апертура для оптимизации конструкции инструмента экспонирования или для достижения воспроизводимого результата и высокого выхода.

Рекомендации