Цилиндр барботера - Bubbler cylinder

А Цилиндр барботера является составной частью агрегата для химическое осаждение металлов из паровой фазы (MOCVD). Это устройства, которые используются для передачи электронного класса металлоорганические соединения из жидкость или же твердый предшественник в пригодный для использования пар.

Аппарат

Контейнер пузырей аналогичен конструкции баллона для промывки газа и используется для защищенного хранения металлоорганических соединений, чтобы исключить воздуха (кислород, влага ). Барботер имеет подводящую трубу и пробоотборную трубку. Впускная трубка заканчивается непосредственно перед дном трубки. В эту трубку вводится инертный газ, который пузырится через жидкий химикат; твердое химическое вещество будет возвышенный. Смесь контролируемых инертный газ и испаренный химикат покидает цилиндр в реакционный сосуд, расположенный ниже по потоку. Температура регулируется термостатом, так что можно достичь определенного постоянного давления пара. Подача часто дорогостоящего и чувствительного химического вещества регулируется регулируемым потоком инертного газа и температурой барботера, что приводит к заданному давление газа химического.

Трубка между барботером и реактором должна иметь более высокую температуру, чем пузырь, иначе прекурсор может конденсировать в трубке и, следовательно, неконтролируемые капли будут попадать в реакционный сосуд. Если это произойдет с твердым прекурсором, он может засорить линию.

Заявление

Например, при производстве высокой яркости светодиоды, галлий или другие элементы III-V групп эпитаксиально осаждаются на монокристалл кремний субстрат. Галлий вводится в камеру реактора MOVPE через пар. Этот пар образуется при барботировании инертного газа-носителя (например, азот или же аргон ) через цилиндр с погружной трубкой через металлоорганический прекурсор, такой как триметилгаллий. Затем инертный газ-носитель и пары металлоорганических соединений вводятся в камеру реактора MOVPE (или MOCVD) во время производства светодиодов высокой яркости.

внешняя ссылка