Hardmask - Википедия - Hardmask

А жесткая маска материал, используемый в полупроводник обработка как маска для травления вместо полимера или другого органического «мягкого» сопротивляться материал. Идея состоит в том, что полимеры легко травятся кислород, фтор, хлор или другие химически активные газы до такой степени, что рисунок, определенный с помощью полимерной маски, быстро разрушается во время плазменное травление.