Индуктивно связанная плазма - Википедия - Inductively coupled plasma

Рис. 1. Изображение аналитической горелки ICP.

An индуктивно связанная плазма (ICP) или же трансформаторная плазма (TCP)[1] это тип плазма источник, в котором энергия поставляется электрические токи которые производятся электромагнитная индукция, то есть изменяющимся во времени магнитные поля.[2]

Операция

Рис. 2. Конструкция плазмотрона с индуктивно связанной плазмой.[3] A: тангенциальный поток охлаждающего газа к внешней кварцевой трубке B: поток нагнетаемого газа (обычно Ar) C: поток газа-носителя с образцом D: индукционная катушка, которая формирует сильное магнитное поле внутри горелки E: векторы сил магнитного поля F : плазмотрон (разряд).

Существует три типа геометрии ICP: планарная (рис. 3 (а)), цилиндрическая. [4] (Рис. 3 (б)), так и полутороидальный (рис. 3 (в)).[5]

Рис. 3. Обычные плазменные индукторы.

В плоской геометрии электрод представляет собой кусок плоского металла, намотанный в виде спирали (или катушки). В цилиндрической геометрии это похоже на спиральный весна. В полутороидальной геометрии это тороидальный соленоид разрезать по основному диаметру на две равные половинки.

Когда изменяющийся во времени электрический ток проходит через катушку, он создает вокруг нее изменяющееся во времени магнитное поле с магнитным потоком

,

куда р расстояние до центра катушки (и кварцевой трубки).

Согласно Закон индукции Фарадея – Ленца., это создает азимутальный электродвижущая сила в разреженный газ:

,

что соответствует напряженности электрического поля

,[6]

приводящие к образованию траекторий электронов в форме восьмерки.[5] обеспечение генерации плазмы. Зависимость от r предполагает, что движение ионов газа наиболее интенсивно во внешней области пламени, где температура наиболее высока. В настоящей горелке пламя охлаждается снаружи охлаждающим газом, поэтому самая горячая внешняя часть находится в тепловом равновесии. Здесь температура достигает 5 000–6 000 К.[7] Для более подробного описания см. Уравнение Гамильтона – Якоби в электромагнитных полях.

Частота переменного тока, используемого в Схема RLC который содержит катушку обычно 27–41 МГц. Чтобы вызвать плазму, на электродах на выходе для газа образуется искра. Аргон - один из примеров широко используемого разреженного газа. Высокая температура плазмы позволяет определять многие элементы, кроме того, для примерно 60 элементов степень ионизации в горелке превышает 90%. Горелка ICP потребляет ок. 1250–1550 Вт мощности, но это зависит от элементного состава образца (из-за разного энергии ионизации ).[7]

ICP имеют два режима работы: емкостной (E) режим с низкой плотностью плазмы и индуктивный (H) режим с высокой плотностью плазмы, а переход из режима нагрева E в H происходит с внешними входами.[8]

Приложения

Плазма температуры электронов может находиться в диапазоне от ~ 6000 К до ~ 10000 К (~ 6 эВ - ~ 100 эВ),[5] и обычно на несколько порядков больше температуры нейтральных частиц. Температура разряда плазмы аргона ICP обычно составляет от ~ 5 500 до 6500 К.[9] и поэтому сравнимы с достигнутым на поверхности (фотосфера ) Солнца (от ~ 4500 К до ~ 6000 К). ICP-разряды имеют относительно высокую плотность электронов, порядка 1015 см−3. В результате разряды ICP находят широкое применение там, где требуется плазма высокой плотности (HDP).

Еще одно преимущество ICP-разрядов состоит в том, что они относительно свободны от загрязнений, поскольку электроды полностью находятся вне реакционной камеры. Напротив, в емкостная плазма (CCP) электроды часто помещаются внутри реактора и, таким образом, подвергаются воздействию плазмы и последующих химически активных веществ.

Смотрите также

Рекомендации

  1. ^ Травление кремния фторированным углеродом высокой плотности в индуктивно связанной плазме: механизм травления через толстый стационарный слой фторуглерода В архиве 2016-02-07 в Wayback Machine Т. Е. Ф. М. Стандерт, М. Шепкенс, Н. Р. Рюгер, П. Г. М. Себель и Г. С. Эрляйнк
  2. ^ А. Монтазер и Д. В. Голайтли, ред. (1992). Индуктивно-связанная плазма в аналитической атомной спектрометрии. VCH Publishers, Inc., Нью-Йорк.CS1 maint: дополнительный текст: список авторов (связь)
  3. ^ Lajunen, L.H.J .; Perämäki, P. (2004). Спектрохимический анализ по атомной абсорбции и эмиссии (2-е изд.). Кембридж: Издательство RSC. п. 205. ISBN  978-0-85404-624-9.
  4. ^ Паскаль Чембер и Николас Брейтуэйт (2011). Физика радиочастотной плазмы.. Издательство Кембриджского университета, Кембридж. С. 219–259. ISBN  978-0521-76300-4.
  5. ^ а б c Шунько Евгений В .; Стивенсон, Дэвид Э .; Белкин, Вениамин С. (2014). «Плазменный реактор с индуктивной связью с плазменной энергией электронов, регулируемой в диапазоне от ~ 6 до ~ 100 эВ». IEEE Transactions по науке о плазме. 42 (3): 774–785. Bibcode:2014ITPS ... 42..774S. Дои:10.1109 / TPS.2014.2299954. ISSN  0093-3813. S2CID  34765246.
  6. ^ Бабушкин, А. А .; Бажулин, П. А .; Королёв, Ф. А .; Левшин, Л. В .; Прокофьев, В. К .; Стриганов, А. Р. (1962). "Эмиссионный спектральный анализ". В Гольденберг, Г. С. (ред.). Методы спектрального анализа. Москва: Издательство МГУ. п. 58.
  7. ^ а б Dunnivant, F.M .; Гинсбах, Дж. У. (2017). Пламенная атомная абсорбционная и эмиссионная спектрометрия и масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой. Колледж Уитмана. Получено 10 января 2018.
  8. ^ Хё-Чанг Ли (2018) Обзор индуктивно связанной плазмы: наноприложения и физика бистабильного гистерезиса 5 011108 https://doi.org/10.1063/1.5012001
  9. ^ Корнелис, РИТА; Нордберг, МОНИКА (2007). ГЛАВА 2 - Общая химия, отбор проб, аналитические методы и видообразование ** Частично основана на главе 2 «Общая химия металлов» В. Вука и главе 3 «Отбор проб и аналитические методы» Т. Дж. Кнайпа и Л. Фриберга в работе Friberg et al. (1986). ". Справочник по токсикологии металлов (Третье изд.). Академическая пресса. С. 11–38. Дои:10.1016 / B978-012369413-3 / 50057-4. ISBN  9780123694133.