Ричард С. Мюллер - Richard S. Muller

Не путать с Ричард А. Мюллер.
Ричард С. Мюллер
Ричард Мюллер picture.jpg
Родившийся
Ричард Стивен Мюллер

(1933-05-05) 5 мая 1933 г. (87 лет)
Академическое образование
Альма-матер
Технологический институт Стивенса Калифорнийский технологический институт
Академическая работа
УчрежденияКалифорнийский университет в Беркли
Известные студентыРоджер Т. Хау

Ричард Стивен Мюллер (родился 5 мая 1933 г.) Американец профессор кафедры электротехники и информатики Калифорнийский университет в Беркли.[1] Он внес вклад в создание и развитие области микроэлектромеханических систем (МЭМС). Вместе со студентом, Роджер Т. Хау, он внес первый плодотворный вклад в создание лучей из поликремния, высвобождаемых в жертву в 1982 году. Это привело к созданию класса процессов микропроизводства, названного поверхностная микрообработка. Эти процессы предшествовали созданию недорогих серийных коммерческих микроакселерометров, которые используются в автомобильных датчиках столкновения для развертывания подушек безопасности. Вместе с Ричард М. Уайт он создал BSAC (Центр датчиков и исполнительных механизмов Беркли), организацию, которая подготовила многие поколения академических исследователей и интеллектуальную собственность в области МЭМС. MEMS - это деятельность, которая в 2013 году принесла во всем мире многомиллиардную выручку.[2] Он член США Национальная инженерная академия.

биография

Мюллер получил степень инженера-механика (с отличием) от Технологический институт Стивенса, Хобокен, Нью-Джерси, 1955; и его M.S. в области электротехники и Ph.D. по электротехнике и физике в 1957 и 1962 годах соответственно на Калифорнийский технологический институт,[3] в Пасадена, Калифорния. С 1955 по 1962 год он был членом технического персонала Hughes Aircraft Company в Culver City, Калифорния. В 1962 году он поступил на электротехнический факультет Калифорнийского университета в Беркли. С 1995 по 2005 годы Мюллер был попечителем Технологического института Стивенса.

Научная работа

Его начальные исследования и преподавание физики интегральных схем привели к сотрудничеству с Теодором И. Каминсом из Hewlett Packard Письменные лаборатории Электроника для интегральных схем,[4] впервые опубликовано Джон Уайли и сыновья в 1977 г., второе издание - в 1986 г., а третье - в 2002 г. Мюллер сменил фокус своих исследований в конце 1970-х на общую область, известную сейчас как микроэлектромеханические системы (MEMS), и он присоединился в 1986 году с коллегой Ричард М. Уайт основать Центр датчиков и исполнительных механизмов Беркли (BSAC),[5] ан NSF / Промышленность / Университетский центр кооперативных исследований. В 1990 году он предложил IEEE и ASME - создание технического журнала MEMS, который начал публиковаться в 1991 году под названием IEEE / ASME Journal of Microelectromechanical Systems (IEEE / ASME JMEMS). В 1997 году Мюллер был избран главным редактором JMEMS и занимал эту должность до 2013 года. Мюллер и его ученик Роджер Т. Хау создали процесс поверхностной микрообработки с использованием поликремния (поли) в качестве конструкционного материала,[6] и оксид кремния в качестве жертвенного слоя. Этот процесс микрообработки поверхности становится основой акселерометров подушек безопасности большого объема. Процесс поверхностной микрообработки является сегодня фундаментальным процессом для многих бытовых, промышленных и военных устройств, включая микрофоны, датчики давления, электронные фильтры, спектрометры и электронные книги.

Мюллер получил следующие академические награды и признание: UC Berkeley Citation (1994); премия Технологического института Стивенса за возрождение (1995 г.); Награда за достижения в карьере на конференции Transducers Research (1997), награда IEEE Cledo Brunetti (совместно с Роджером Т. Хоу, 1998), медаль тысячелетия IEEE (2000),[7] и награда IEEE / RSE Wolfson James Clerk Maxwell Award (2013).[8] Он является членом Национальная инженерная академия,[9] и Товарищ по жизни IEEE.

Рекомендации

  1. ^ "Ричард С. Мюллер | EECS в Калифорнийском университете в Беркли". Eecs.berkeley.edu. 2013-06-08. Получено 2013-08-12.
  2. ^ «STMicro возглавила рейтинг рынка MEMS». EE Times. 2013-04-19. Получено 2013-08-12.
  3. ^ "Калтех". Caltech.edu. Получено 2013-08-12.
  4. ^ «Электроника для интегральных схем, 3-е издание - Ричард С. Мюллер, Теодор И. Каминс». Wiley. Получено 2013-08-12.
  5. ^ "Центр датчиков и исполнительных механизмов Беркли". Bsac.eecs.berkeley.edu. 2013-07-21. Получено 2013-08-12.
  6. ^ Р. Т. Хоу и Р. С. Мюллер (1983). «Микромеханические балки из поликристаллического кремния». Журнал Электрохимического общества. Jes.ecsdl.org. 130 (6): 1420. Bibcode:1983JELS..130.1420H. Дои:10.1149/1.2119965.
  7. ^ «Победители медали тысячелетия | IEEE Electron Devices Society». Eds.ieee.org. 2013-01-03. Получено 2013-08-12.
  8. ^ «Лауреаты премии IEEE / RSE Wolfson James Clerk Maxwell». IEEE. Получено 2013-08-12.
  9. ^ "Сайт NAE - Главная". Nae.edu. Получено 2013-08-12.

внешняя ссылка

  • Ричард С. Мюллер публикации, проиндексированные Scopus библиографическая база данных. (требуется подписка)