Трибромосилан - Tribromosilane

Трибромсилан
Tribromosilane.svg
Трибромсилан-3D-vdW.png
Трибромсилан-3D-шары.png
Имена
Название ИЮПАК
Трибромосилан
Другие имена
Силикобромоформ; Трибромомоносилан
Идентификаторы
3D модель (JSmol )
ChemSpider
ECHA InfoCard100.029.250 Отредактируйте это в Викиданных
UNII
Свойства
Br3ЧАСSi
Молярная масса268.805 г · моль−1
Если не указано иное, данные для материалов приводятся в их стандартное состояние (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа).
Ссылки на инфобоксы

Трибромосилан это химическое соединение содержащий кремний, водород, и бром. При высоких температурах он разлагается с образованием кремния и является альтернативой очищенному трихлорсилану сверхчистого кремния в полупроводник промышленность.

Процесс осаждения кремния Шумахера использует газообразный трибромсилан для производства поликремний, но он имеет ряд преимуществ по стоимости и безопасности по сравнению с процессом производства поликремния Сименс.[1]

Его можно приготовить нагреванием кристаллического кремний с газообразным бромистый водород при высокой температуре.[2] Самопроизвольно воспламеняется при контакте с воздухом.[3]

использованная литература

  1. ^ Процесс Шумахера
  2. ^ Schumb WC, Young RC (апрель 1930 г.). «Исследование реакции бромистого водорода с кремнием». Журнал Американского химического общества. 52 (4): 1464–1469. Дои:10.1021 / ja01367a025.
  3. ^ Schumb WC (декабрь 1942 г.). «Галогениды и оксигалогениды кремния». Химические обзоры. 31 (3): 587–595. Дои:10.1021 / cr60100a004.