Трибромосилан - Tribromosilane
Имена | |||
---|---|---|---|
Название ИЮПАК Трибромосилан | |||
Другие имена Силикобромоформ; Трибромомоносилан | |||
Идентификаторы | |||
3D модель (JSmol ) | |||
ChemSpider | |||
ECHA InfoCard | 100.029.250 | ||
PubChem CID | |||
UNII | |||
| |||
| |||
Свойства | |||
Br3ЧАСSi | |||
Молярная масса | 268.805 г · моль−1 | ||
Если не указано иное, данные для материалов приводятся в их стандартное состояние (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа). | |||
Ссылки на инфобоксы | |||
Трибромосилан это химическое соединение содержащий кремний, водород, и бром. При высоких температурах он разлагается с образованием кремния и является альтернативой очищенному трихлорсилану сверхчистого кремния в полупроводник промышленность.
Процесс осаждения кремния Шумахера использует газообразный трибромсилан для производства поликремний, но он имеет ряд преимуществ по стоимости и безопасности по сравнению с процессом производства поликремния Сименс.[1]
Его можно приготовить нагреванием кристаллического кремний с газообразным бромистый водород при высокой температуре.[2] Самопроизвольно воспламеняется при контакте с воздухом.[3]
использованная литература
- ^ Процесс Шумахера
- ^ Schumb WC, Young RC (апрель 1930 г.). «Исследование реакции бромистого водорода с кремнием». Журнал Американского химического общества. 52 (4): 1464–1469. Дои:10.1021 / ja01367a025.
- ^ Schumb WC (декабрь 1942 г.). «Галогениды и оксигалогениды кремния». Химические обзоры. 31 (3): 587–595. Дои:10.1021 / cr60100a004.
Эта неорганический соединение –Связанная статья является заглушка. Вы можете помочь Википедии расширяя это. |