Функционально-ориентированное позиционирование - Википедия - Feature-oriented positioning

Функционально-ориентированное позиционирование (FOP)[1][2][3][4][5] это метод точного перемещения сканирующий микроскоп зонд по исследуемой поверхности. С помощью этого метода элементы поверхности (объекты) используются в качестве ориентиров для крепления зонда микроскопа. Фактически, ФОП - это упрощенный вариант функционально-ориентированное сканирование (FOS). При использовании FOP не создается топографическое изображение поверхности. Вместо этого движение датчика по поверхностным объектам выполняется только от начальной точки поверхности A (окрестности начального объекта) до конечной точки B (окрестности конечного объекта) по некоторому маршруту, который проходит через промежуточные объекты поверхности. К методу можно также отнести другое название - объектно-ориентированное позиционирование (ООП).

Следует различать «слепой» FOP, когда координаты объектов, используемых для перемещения зонда, заранее неизвестны, и FOP по существующей «карте» объектов, когда известны относительные координаты всех объектов, например, если они были получены во время предварительного FOS. Перемещение зонда навигационной структурой представляет собой комбинацию вышеперечисленных методов.

Метод FOP может использоваться снизу вверх нанопроизводство реализовать высокоточное перемещение нанолитография /наноассемблер зонд по поверхности подложки. Более того, однажды пройдя по какому-либо маршруту, FOP может быть повторен точно необходимое количество раз. После перемещения в заданном положении воздействие на поверхность или манипулирование поверхностным объектом (наночастица, молекула, атом ) выполняется. Все операции выполняются в автоматическом режиме. При использовании многозондовых инструментов подход FOP позволяет последовательно применять любое количество специализированных технологических и / или аналитических датчиков к поверхностному элементу / объекту или к определенной точке окрестности элемента / объекта. Это открывает перспективу создания сложного нанотехнологического производства, состоящего из большого количества технологических, измерительных и контрольных операций.

Смотрите также

Рекомендации

  1. ^ Лапшин Р.В. (2004). «Методология объектно-ориентированного сканирования для зондовой микроскопии и нанотехнологий» (PDF). Нанотехнологии. Великобритания: ВГД. 15 (9): 1135–1151. Bibcode:2004Нанот..15.1135Л. Дои:10.1088/0957-4484/15/9/006. ISSN  0957-4484.
  2. ^ Лапшин Р.В. (2011). «Функциональная сканирующая зондовая микроскопия». В Х. С. Налва (ред.). Энциклопедия нанонауки и нанотехнологий (PDF). 14. США: Американские научные издательства. С. 105–115. ISBN  978-1-58883-163-7.
  3. ^ Р. Лапшин (2014). «Функционально-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, восходящие нанотехнологии» (PDF). Электроника: наука, технологии, бизнес. Российская Федерация: Издательство Техносфера (Спецвыпуск «50 лет Институту Физических Проблем»): 94–106. ISSN  1992-4178. (на русском).
  4. ^ Д. В. Поль, Р. Мёллер (1988). ""Отслеживающая «туннельная микроскопия». Обзор научных инструментов. США: AIP Publishing. 59 (6): 840–842. Bibcode:1988RScI ... 59..840P. Дои:10.1063/1.1139790. ISSN  0034-6748.
  5. ^ Б. С. Шварцентрубер (1996). «Прямое измерение поверхностной диффузии с помощью сканирующей туннельной микроскопии с отслеживанием атомов». Письма с физическими проверками. США: Американское физическое общество. 76 (3): 459–462. Bibcode:1996ПхРвЛ..76..459С. Дои:10.1103 / PhysRevLett.76.459. ISSN  0031-9007. PMID  10061462.

внешняя ссылка