Транзистор металл – нитрид – оксид – полупроводник. - Metal–nitride–oxide–semiconductor transistor

В металл – нитрид – оксид – полупроводник или же металл – нитрид – оксид – кремний (MNOS) транзистор является разновидностью МОП-транзистор (полевой транзистор металл-оксид-полупроводник), в котором окись слой заменяется двойным слоем нитрид и оксид.[1] Это альтернатива и дополнение к существующему стандарту. Технология MOS при этом используемая изоляция представляет собой слой оксида нитрида.[2][3] Он используется в энергонезависимый память компьютера.[4]

История

Дальнейшая информация: Вспышка ловушки заряда

Оригинал МОП-транзистор (полевой транзистор металл-оксид-полупроводник, или МОП-транзистор) был изобретен египетским инженером Мохамед М. Аталла и корейский инженер Давон Канг в Bell Labs в 1959 г. и продемонстрировали в 1960 г.[5] Канг продолжил изобретать МОП-транзистор с плавающим затвором с Саймон Мин Сзе в Bell Labs, и они предложили использовать его в качестве плавающий затвор (FG) ячейка памяти, в 1967 году.[6] Это была первая форма энергонезависимая память основанный на инжекции и хранении зарядов в MOSFET с плавающим затвором,[7] что впоследствии стало основой для EPROM (стираемый ВЫПУСКНОЙ ВЕЧЕР ), EEPROM (электрически стираемый PROM) и флэш-память технологии.[8]

В конце 1967 г. Сперри исследовательская группа под руководством Х.А. Ричард Вегенер, А.Дж. Линкольн и Х. Пао изобрел транзистор металл-нитрид-оксид-полупроводник (MNOS),[9] тип полевого МОП-транзистора, в котором окись слой заменяется двойным слоем нитрид и оксид.[10] Нитрид использовался в качестве улавливающего слоя вместо плавающих ворот, но его использование было ограничено, так как считалось хуже плавающих ворот.[11]

Зарядная ловушка (CT) память была представлена ​​в устройствах MNOS в конце 1960-х годов. Он имел структуру устройства и принципы работы, аналогичные памяти с плавающим затвором (FG), но основное отличие состоит в том, что заряды хранятся в проводящем материале (обычно в легированном поликремний слоя) в памяти FG, тогда как в памяти CT хранятся заряды в локализованных ловушках в пределах диэлектрик слой (обычно из нитрид кремния ).[7]

Смотрите также

Рекомендации

  1. ^ Броди, Айвор; Мурай, Джулиус Дж. (2013). Физика микротехнологии. Springer Science & Business Media. п. 74. ISBN  9781489921604.
  2. ^ Фроман-Бентчковский, Д. (1970). «Транзистор металл-нитрид-оксид-кремний (MNOS) - Характеристики и применение». Труды IEEE. 58 (8): 1207–1219. Дои:10.1109 / PROC.1970.7897.
  3. ^ «Технология металл – нитрид – оксид – полупроводник (MNOS)». JEDEC.
  4. ^ Нг, Квок К. (2010). «Металл-нитрид-оксидный полупроводниковый транзистор». Полное руководство по полупроводниковым приборам. John Wiley & Sons, Inc., стр. 353–360. Дои:10.1002 / 9781118014769.ch47. ISBN  9781118014769.
  5. ^ «1960 - Демонстрация металлооксидного полупроводникового (МОП) транзистора». Кремниевый двигатель. Музей истории компьютеров.
  6. ^ Канг, Давон; Сзе, Саймон Мин (Июль – август 1967 г.). «Плавающий затвор и его применение в устройствах памяти». Технический журнал Bell System. 46 (6): 1288–1295. Bibcode:1967ITED ... 14Q.629K. Дои:10.1002 / j.1538-7305.1967.tb01738.x.
  7. ^ а б Иоанну-Суфлеридис, В .; Димитракис, Панайотис; Норманд, Паскаль (2015). "Глава 3: Воспоминания о зарядовой ловушке с модифицированными ионно-лучевыми пучками ONO-цепями". Энергонезависимые воспоминания с захватом заряда: Том 1 - Базовые и расширенные устройства. Springer. С. 65-102 (65). ISBN  9783319152905.
  8. ^ "Не просто вспышка в кастрюле". Экономист. 11 марта 2006 г.. Получено 10 сентября 2019.
  9. ^ Wegener, H.A.R .; Линкольн, А. Дж .; Pao, H.C .; О'Коннелл, М. Р .; Oleksiak, R.E .; Лоуренс, Х. (октябрь 1967). «Транзистор с переменным порогом, новое электрически изменяемое неразрушающее запоминающее устройство только для чтения». Международная конференция по электронным устройствам 1967 г.. 13: 70. Дои:10.1109 / IEDM.1967.187833.
  10. ^ Броди, Айвор; Мурай, Джулиус Дж. (2013). Физика микротехнологии. Springer Science & Business Media. п. 74. ISBN  9781489921604.
  11. ^ Prall, Кирк; Рамасвами, Нирмал; Года, Акира (2015). "Глава 2: Краткий обзор современного состояния памяти NAND". Энергонезависимые воспоминания с захватом заряда: Том 1 - Базовые и расширенные устройства. Springer. С. 37-64 (39). ISBN  9783319152905.