Дисилицид вольфрама - Википедия - Tungsten disilicide

Дисилицид вольфрама[1]
Имена
Название ИЮПАК
Дисилицид вольфрама
Идентификаторы
3D модель (JSmol )
ECHA InfoCard100.031.723 Отредактируйте это в Викиданных
Характеристики
WSi2
Молярная масса240,011 г / моль
Внешностьсеро-голубой четырехугольный кристаллы
Плотность9,3 г / см3
Температура плавления 2160 ° С (3920 ° F, 2430 К)
нерастворимый
Опасности
NFPA 704 (огненный алмаз)
точка возгоранияНегорючий
Родственные соединения
Другой анионы
Карбид вольфрама
Нитрид вольфрама
Другой катионы
Дисилицид молибдена
Если не указано иное, данные для материалов приведены в их стандартное состояние (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа).
☒N проверять (что проверитьY☒N ?)
Ссылки на инфобоксы

Силицид вольфрама (WSi2) представляет собой неорганическое соединение, силицид из вольфрам. Это электропроводящий керамика материал.

Химия

Силицид вольфрама может бурно реагировать с такими веществами, как сильные кислоты, фтор, окислители, и интергалогены.

Приложения

Он используется в микроэлектроника как контактный материал, с удельное сопротивление 60–80 мкОм см; он образуется при 1000 ° C. Часто используется как шунт над поликремний линии для увеличения их проводимости и увеличения скорости сигнала. Слои силицида вольфрама могут быть получены химическое осаждение из паровой фазы, например с помощью моносилан или же дихлорсилан с гексафторид вольфрама в качестве исходных газов. Осажденная пленка не-стехиометрический, и требует отжиг преобразовать в более проводящую стехиометрическую форму. Силицид вольфрама является заменой более ранних пленок вольфрама.[2] Силицид вольфрама также используется в качестве барьерный слой между кремнием и другими металлами, например вольфрам.

Силицид вольфрама также представляет ценность для использования в микроэлектромеханические системы, где он в основном применяется в виде тонких пленок для изготовления микросхем микромасштабов. Для этих целей пленки силицида вольфрама могут быть плазменный используя, например, трифторид азота газ.

WSi2 хорошо работает в приложениях, как окисление -стойкие покрытия. В частности, по аналогии с Дисилицид молибдена, MoSi2, высота излучательная способность дисилицида вольфрама делает этот материал привлекательным для высоких температур радиационное охлаждение, с последствиями в тепловые экраны.[3]

Рекомендации

  1. ^ Лиде, Дэвид Р. (1998), Справочник по химии и физике (87-е изд.), Бока-Ратон, Флорида: CRC Press, стр. 4–91, ISBN  0-8493-0594-2
  2. ^ «Архивная копия». Архивировано из оригинал на 2001-09-07. Получено 2007-08-19.CS1 maint: заархивированная копия как заголовок (связь)
  3. ^ Покрытия с высоким коэффициентом излучения на волокнистой керамике для многоразовых космических систем Наука о коррозии 2019