Стекло фторосиликатное - Fluorosilicate glass

Стекло фторосиликатное (ФСГ) это стекло материал, состоящий в основном из фтор, кремний и кислород. Он имеет ряд применений в промышленности и производстве, особенно в производстве полупроводников, где он образует изолирующую диэлектрик. Родственная фторосиликатная стеклокерамика обладает хорошими механическими и химическими свойствами.

Производство полупроводников

Фторсиликатное стекло имеет диэлектрик с низким k и используется между слои медного металла в течение кремний Интегральная схема изготовление процесс. Он широко используется литейные производства полупроводников на геометрии менее 0,25 мкм. Фторсиликатное стекло эффективно фтор -содержащий диоксид кремния (k = 3,5, а k нелегированного диоксида кремния 3,9).[1]Фторсиликатное стекло используется IBM.[2] Intel начал использовать слои металла Cu и FSG на своей частоте 1,2 ГГц Pentium процессор на 130 нм CMOS. TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company) ввела в производство FSG и медь Альтера APEX.

Стеклокерамика фторосиликатная

Фторосиликат стеклокерамика представляют собой твердые кристаллические или полукристаллические вещества, образованные при осторожном охлаждении расплавленного фторосиликатного стекла. Обладают хорошими механическими свойствами.

Материалы на основе фторорихтерита калия состоят из крошечных сблокированных стержневидных амфибол кристаллы; они обладают хорошей стойкостью к химическим веществам и могут использоваться в микроволновые печи. Рихтерит стеклокерамика используется для высокоэффективных посуда.

Стеклокерамика фторосиликатная с листовой структурой, полученная из слюда, прочны и обрабатываются. Они находят множество применений и могут использоваться в высоком вакууме, а также в качестве диэлектриков и прецизионных керамических компонентов. Ряд слюды и слюды-фторапатит стеклокерамика изучалась как биоматериалы.[3]

Смотрите также

Рекомендации

  1. ^ Комитет, E.D.F.A.S.D.R. (2004). Анализ отказов микроэлектроники: настольный справочник. ASM International. ISBN  9780871708045. Получено 2015-04-13.
  2. ^ Солтис, Ф. (2001). Крепость Рочестер: внутренняя история IBM ISeries. НОВОСТИ / 400 книг. п. 54. ISBN  9781583040836. Получено 2015-04-13.
  3. ^ Мартин, Дж. (2006). Краткая энциклопедия структуры материалов. Elsevier Science. п. 203. ISBN  9780080524634. Получено 2015-04-13.