Рутений - Ruthenium

Рутений,44RU
Половина рутения.jpg
Рутений
Произношение/рuˈθяпяəм/ ​(ру-Они-ни-м )
Внешностьсеребристо-белый металлик
Стандартный атомный вес Аr, std(RU)101.07(2)[1]
Рутений в периодическая таблица
ВодородГелий
ЛитийБериллийБорУглеродАзотКислородФторНеон
НатрийМагнийАлюминийКремнийФосфорСераХлорАргон
КалийКальцийСкандийТитанаВанадийХромМарганецУтюгКобальтНикельМедьЦинкГаллийГерманийМышьякСеленБромКриптон
РубидийСтронцийИттрийЦирконийНиобийМолибденТехнецийРутенийРодийПалладийСереброКадмийИндийБанкаСурьмаТеллурЙодКсенон
ЦезийБарийЛантанЦерийПразеодимНеодимПрометийСамарийЕвропийГадолинийТербийДиспрозийГольмийЭрбийТулийИттербийЛютецийГафнийТанталВольфрамРенийОсмийИридийПлатинаЗолотоМеркурий (элемент)ТаллийСвинецВисмутПолонийАстатинРадон
ФранцийРадийАктинийТорийПротактинийУранНептунийПлутонийАмерицийКюрийБерклиумКалифорнийЭйнштейнийФермийМенделевийНобелийЛоуренсийРезерфордийДубнийСиборгийБориумКалийМейтнерийДармштадтиумРентгенийКопернициумNihoniumФлеровийМосковиумЛиверморийTennessineОганессон
Fe
↑
RU
↓
Операционные системы
технеций ← рутений → родий
Атомный номер (Z)44
Группагруппа 8
Периодпериод 5
Блокироватьd-блок
Категория элемента  Переходный металл
Электронная конфигурация[Kr ] 4d7 5 с1
Электронов на оболочку2, 8, 18, 15, 1
Физические свойства
Фаза вSTPтвердый
Температура плавления2607 K (2334 ° С, 4233 ° F)
Точка кипения4423 К (4150 ° С, 7502 ° F)
Плотность (возлеr.t.)12,45 г / см3
в жидком состоянии (приm.p.)10,65 г / см3
Теплота плавления38.59 кДж / моль
Теплота испарения619 кДж / моль
Молярная теплоемкость24,06 Дж / (моль · К)
Давление газа
п (Па)1101001 к10 тыс.100 тыс.
вТ (K)258828113087342438454388
Атомные свойства
Состояния окисления−4, −2, 0, +1,[2] +2, +3, +4, +5, +6, +7, +8 (мягко говоря кислый окись)
ЭлектроотрицательностьШкала Полинга: 2,2
Энергии ионизации
  • 1-я: 710,2 кДж / моль
  • 2-я: 1620 кДж / моль
  • 3-я: 2747 кДж / моль
Радиус атомаэмпирические: 134вечера
Ковалентный радиус146 ± 19 часов
Цветные линии в спектральном диапазоне
Спектральные линии рутения
Другие свойства
Естественное явлениеизначальный
Кристальная структура ​шестиугольный плотно упакованный (ГПУ)
Гексагональная плотноупакованная кристаллическая структура рутения
Скорость звука тонкий стержень5970 м / с (при 20 ° C)
Тепловое расширение6,4 мкм / (м · К) (при 25 ° C)
Теплопроводность117 Вт / (м · К)
Удельное электрическое сопротивление71 нОм · м (при 0 ° C)
Магнитный заказпарамагнитный[3]
Магнитная восприимчивость+39·10−6 см3/ моль (298 К)[3]
Модуль для младших447 ГПа
Модуль сдвига173 ГПа
Объемный модуль220 ГПа
коэффициент Пуассона0.30
Твердость по Моосу6.5
Твердость по Бринеллю2160 МПа
Количество CAS7440-18-8
История
Именованиепосле Малороссия (На латыни: средневековый Киевская Русь область, край)
Открытие и первая изоляцияКарл Эрнст Клаус (1844)
Главный изотопы рутения
ИзотопИзобилиеПериод полураспада (т1/2)Режим распадаПродукт
96RU5.54%стабильный
97RUсин2,9 гε97Tc
γ–
98RU1.87%стабильный
99RU12.76%стабильный
100RU12.60%стабильный
101RU17.06%стабильный
102RU31.55%стабильный
103RUсин39,26 гβ−103Rh
γ–
104RU18.62%стабильный
106RUсин373,59 гβ−106Rh
Категория Категория: рутений
| Рекомендации

Рутений это химический элемент с символ RU и атомный номер 44. Это редкий переходный металл принадлежащий к платиновая группа из периодическая таблица. Как и другие металлы платиновой группы, рутений инертен по отношению к большинству других химических веществ. Ученый русского происхождения балтийско-немецкого происхождения Карл Эрнст Клаус открыл элемент в 1844 г. Казанский Государственный Университет и назвал рутением в честь Россия.[а] Рутений обычно встречается в качестве второстепенного компонента платина руды; годовой объем производства вырос с 19 тонны в 2009 [5] примерно до 35,5 тонн в 2017 году.[6] Большая часть производимого рутения используется в износостойких электрических контактах и ​​толстопленочных резисторах. Незначительное применение рутения - платина. сплавы и как химия катализатор. Новое применение рутения - это закрывающий слой для фотошаблонов экстремального ультрафиолета. Рутений обычно находится в рудах вместе с другими металлами платиновой группы в Уральские горы И в север и Южная Америка. Небольшие, но коммерчески важные количества также находятся в пентландит извлечен из Садбери, Онтарио И в пироксенит депозиты в Южная Африка.[7]

Характеристики

Физические свойства

Кристаллы металлического рутения, выращенные в газовой фазе.

Рутений, а поливалентный твердый белый металл, является членом платиновая группа и находится в группа 8 таблицы Менделеева:

ZЭлементКоличество электронов / оболочка
26утюг2, 8, 14, 2
44рутений2, 8, 18, 15, 1
76осмий2, 8, 18, 32, 14, 2
108хасиум2, 8, 18, 32, 32, 14, 2

В то время как все остальные элементы группы 8 имеют два электрона на внешней оболочке, в рутении внешняя оболочка имеет только один электрон (последний электрон находится в нижней оболочке). Эта аномалия наблюдается в соседних металлах. ниобий (41), молибден (42), и родий (45).

Рутений имеет четыре кристаллические модификации и не тускнеет в условиях окружающей среды; он окисляется при нагревании до 800 ° C (1070 K). Рутений растворяется в плавленых щелочах с образованием рутенатов (RuO2−
4), не подвергается воздействию кислот (даже царская водка ) но на него нападает галогены при высоких температурах.[7] Действительно, рутений наиболее легко разрушается окислителями.[8] Небольшие количества рутения могут увеличить твердость платина и палладий. В коррозия сопротивление титан заметно увеличивается при добавлении небольшого количества рутения.[7] Металл можно покрыть гальваника и термическим разложением. Рутений-молибден сплав, как известно, сверхпроводящий при температуре ниже 10,6 K.[7] Рутений является последним из 4d переходных металлов, который может принимать групповую степень окисления +8, и даже в этом случае он менее стабилен, чем более тяжелый конгенер осмий: это первая группа слева в таблице, где второй и третий - Ряд переходных металлов показывает заметные различия в химическом поведении. Подобно железу, но в отличие от осмия, рутений может образовывать водные катионы в более низких степенях окисления +2 и +3.[9]

Рутений является первым в тенденции к снижению температур плавления и кипения, а также энтальпии атомизации в 4d переходных металлах после максимума, наблюдаемого при молибден, потому что подоболочка 4d заполнена более чем наполовину, и электроны вносят меньший вклад в металлическую связь. (Технеций, предыдущий элемент, имеет исключительно низкое значение, которое не соответствует тренду из-за его наполовину заполненного [Kr] 4d55 с2 конфигурации, хотя это не так далеко от тенденции в серии 4d, как марганец в серии 3-го перехода.)[10] В отличие от более легкого родственного железа, рутений парамагнитный при комнатной температуре, так как железо также превышает его Точка Кюри.[11]

Потенциалы восстановления некоторых обычных ионов рутения в кислых водных растворах показаны ниже:[12]

0,455 ВRU2+ + 2e−↔ Ru
0,249 ВRU3+ + е−↔ Ru2+
1,120 ВRuO2 + 4H+ + 2e−↔ Ru2+ + 2H2О
1,563 ВRuO2−
4 + 8H+ + 4e−		↔ Ru2+ + 4H2О
1,368 ВRuO−
4 + 8H+ + 5e−		↔ Ru2+ + 4H2О
1,387 ВRuO4 + 4H+ + 4e−↔ RuO2 + 2H2О

Изотопы

Основная статья: Изотопы рутения

Встречающийся в природе рутений состоит из семи стабильных изотопы. Дополнительно 34 радиоактивные изотопы были обнаружены. Из этих радиоизотопы, наиболее стабильными являются 106Ru с период полураспада 373,59 суток, 103Ru с периодом полураспада 39,26 суток и 97Ru с периодом полураспада 2,9 дня.[13][14]

Пятнадцать других радиоизотопов были охарактеризованы как атомные веса в диапазоне от 89,93 ты (90Ru) до 114.928 u (115RU). У большинства из них период полураспада составляет менее пяти минут, за исключением 95Ru (период полувыведения: 1,643 часа) и 105Ru (период полувыведения: 4,44 часа).[13][14]

Главная режим распада перед самым распространенным изотопом, 102Ру, это захват электронов и основной режим после бета-излучение. Главная продукт распада перед 102Ru это технеций и первичный продукт распада после родий.[13][14]

106Ru - продукт деления ядра уран или же плутоний. Высокие концентрации обнаруженных атмосферных 106Ru были связаны с предполагаемым необъявленная ядерная авария в России в 2017 году.[15]

Вхождение

Смотрите также: Категория: Минералы рутения

Как 74-я самый распространенный элемент в земной коре, рутений относительно редко,[16] найдено примерно в 100частей на триллион.[17] Этот элемент обычно встречается в рудах вместе с другими металлами платиновой группы в Уральские горы и в Северной и Южной Америке. Небольшие, но коммерчески важные количества также находятся в пентландит извлечен из Садбери, Онтарио, Канада, И в пироксенит депозиты в Южная Африка. Самородная форма рутения - очень редкий минерал (Ir заменяет часть Ru в его структуре).[18][19]

Производство

Ежегодно добывается около 30 тонн рутения.[20] с мировыми запасами в 5 000 тонн.[16] Состав добываемой металл платиновой группы (МПГ) смеси широко варьируются в зависимости от геохимической формации. Например, МПГ, добываемые в Южной Африке, содержат в среднем 11% рутения, тогда как МПГ, добываемые в бывшем СССР, содержат только 2% (1992 г.).[21][22] Рутений, осмий и иридий считаются второстепенными металлами платиновой группы.[11]

Рутений, как и другие металлы платиновой группы, коммерчески получают как побочный продукт из никель, и медь, переработка руды платиновых металлов. В течение электрорафинирование меди и никель, благородные металлы, такие как серебро, золото и металлы платиновой группы, осаждаются в виде анодный шлам, то сырье для добычи.[18][19] Металлы превращаются в ионизированные растворенные вещества любым из нескольких способов, в зависимости от состава сырья. Один типичный метод - слияние с перекись натрия с последующим растворением в царская водка, и раствор в смеси хлор с соляная кислота.[23][24] Осмий, рутений, родий, и иридий не растворимы в царской водке и легко осаждаются, оставляя другие металлы в растворе. Родий отделяют от остатка обработкой расплавленным бисульфатом натрия. Нерастворимый остаток, содержащий Ru, Os и Ir, обрабатывают оксидом натрия, в котором Ir не растворим, с образованием растворенных солей Ru и Os. После окисления до летучих оксидов RuO
4 отделен от OsO
4 путем осаждения (NH4)3RuCl6 хлоридом аммония или перегонкой или экстракцией летучего четырехокиси осмия органическими растворителями.[25] Водород используется для уменьшения аммоний хлорид рутения с образованием порошка.[7][26] Продукт восстанавливают водородом, получая металл в виде порошка или губчатый металл что можно лечить с порошковая металлургия методы или аргон -дуговая сварка.[7][27]

Химические соединения

Смотрите также: Категория: Соединения рутения

В состояния окисления рутения от 0 до +8 и −2. Свойства рутения и осмия соединения часто похожи. Состояния +2, +3 и +4 являются наиболее распространенными. Наиболее распространенным предшественником является трихлорид рутения, красное твердое вещество, которое плохо определено химически, но универсально синтетически.[26]

Оксиды и халькогениды

Рутений может быть окисленный к оксид рутения (IV) (RuO2, степень окисления +4), который, в свою очередь, может окисляться метапериодат натрия к летучему желтому тетраэдру четырехокись рутения, RuO4, агрессивный, сильный окислитель со структурой и свойствами, аналогичными четырехокись осмия. RuO4 в основном используется в качестве промежуточного продукта при очистке рутения от руд и радиоактивных отходов.[28]

Рутенат калия (K2RuO4, +6) и перрутенат калия (KRuO4, +7) также известны.[29] В отличие от четырехокиси осмия, четырехокись рутения менее стабильна и достаточно сильна как окислитель, чтобы окислять разбавленные вещества. соляная кислота и органические растворители, такие как этиловый спирт при комнатной температуре и легко восстанавливается до рутената (RuO2−
4) в водных щелочных растворах; он разлагается с образованием диоксида выше 100 ° C. В отличие от железа, но подобно осмию, рутений не образует оксидов в более низких степенях окисления +2 и +3.[30] Рутений образует дихалькогениды, которые представляют собой диамагнитные полупроводники, кристаллизующиеся в пирит структура.[30] Сульфид рутения (RuS2) встречается в природе как минерал лаурит.

Подобно железу, рутений с трудом образует оксоанионы, и вместо этого предпочитает достигать высоких координационных чисел с гидроксид-ионами. Четырехокись рутения восстанавливается холодным разбавлением. гидроксид калия с образованием перрутената калия черного, KRuO4, с рутением в степени окисления +7. Перутенат калия можно также получить путем окисления рутената калия, K2RuO4, с газообразным хлором. Ион перрутената нестабилен и восстанавливается водой с образованием оранжевого рутената. Рутенат калия может быть синтезирован путем взаимодействия металлического рутения с расплавленным гидроксидом калия и азотнокислый калий.[31]

Также известны некоторые смешанные оксиды, такие как MIIRUIVО3, Na3RUVО4, Na
2RUV
2О
7, И мII
2LnIII
RUV
О
6.[31]

Галогениды и оксигалогениды

Самый высокий известный галогенид рутения - это гексафторид, темно-коричневое твердое вещество, плавящееся при 54 ° C. Он бурно гидролизуется при контакте с водой и легко диспропорционирует с образованием смеси низших фторидов рутения с выделением газообразного фтора. Пентафторид рутения представляет собой тетрамерное твердое вещество темно-зеленого цвета, которое также легко гидролизуется и плавится при 86,5 ° C. Желтый тетрафторид рутения вероятно, также является полимерным и может быть образован восстановлением пентафторида с помощью йод. Среди бинарных соединений рутения такие высокие степени окисления известны только для оксидов и фторидов.[32]

Трихлорид рутения хорошо известное соединение, существующее в черной α-форме и темно-коричневой β-форме: тригидрат имеет красный цвет.[33] Из известных тригалогенидов трифторид имеет темно-коричневый цвет и разлагается выше 650 ° C, тетрабромид темно-коричневый и разлагается выше 400 ° C, а трийодид имеет черный цвет.[32] Из дигалогенидов дифторид неизвестен, дихлорид - коричневый, дибромид - черный, а дииодид - синий.[32] Единственным известным оксигалогенидом является бледно-зеленый оксифторид рутения (VI), RuOF.4.[33]

Координационные и металлоорганические комплексы

Основная статья: Органорутениевая химия
Хлорид трис (бипиридина) рутения (II).
Скелетная формула катализатора Граббса.
Катализатор Граббса, получивший Нобелевскую премию за своего изобретателя, используется в метатезис алкенов реакции.

Рутений образует различные координационные комплексы. Примерами являются многие производные пентааммина [Ru (NH3)5L]п + которые часто существуют как для Ru (II), так и для Ru (III). Производные бипиридин и терпиридин многочисленны, наиболее известными из которых являются люминесцентный трис (бипиридин) рутений (II) хлорид.

Рутений образует широкий спектр соединений со связями углерод-рутений. Катализатор Граббса используется для метатезиса алкенов.[34] Рутеноцен аналогично ферроцен структурно, но проявляет отличительные окислительно-восстановительные свойства. Бесцветная жидкость пентакарбонил рутения превращается в отсутствие давления CO в темно-красное твердое вещество додекакарбонил трирутения. Трихлорид рутения реагирует с монооксидом углерода с образованием многих производных, включая RuHCl (CO) (PPh3)3 и Ru (CO)2(PPh3)3 (Комплекс Ропера ). Нагревание растворов трихлорида рутения в спиртах с трифенилфосфин дает трис (трифенилфосфин) дихлорид рутения (RuCl2(PPh3)3), который превращается в гидридный комплекс хлоргидридотрис (трифенилфосфин) рутений (II) (RuHCl (PPh3)3).[26]

История

Хотя встречающиеся в природе платиновые сплавы, содержащие все шесть металлы платиновой группы долгое время использовались доколумбовый Американцы и известные европейским химикам с середины 16 века как материал, платина была идентифицирована как чистый элемент только в середине 18 века. Эта природная платина, содержащая палладий, родий, осмий и иридий, была открыта в первом десятилетии XIX века.[35] Платина в аллювиальные пески рек России дали доступ к сырью для изготовления пластин и медалей, а также для чеканки рубль монеты, начиная с 1828 г.[36] Остатки от производства платины для чеканки монет были доступны в Российской Империи, и поэтому большая часть их исследований проводилась в Восточной Европе.

Возможно, что Польский химик Енджей Снядецкий изолированный элемент 44 (который он назвал "вестиумом" в честь астероида Веста обнаружен незадолго до этого) из платиновых руд Южной Америки в 1807 г. Он опубликовал объявление о своем открытии в 1808 г.[37] Однако его работа так и не была подтверждена, и позже он отозвал свое заявление об открытии.[16]

Йенс Берцелиус и Готфрид Осанн почти открыл рутений в 1827 году.[38] Они исследовали остатки, оставшиеся после растворения сырой платины из Уральские горы в царская водка. Берцелиус не нашел никаких необычных металлов, но Осанн подумал, что он нашел три новых металла, которые он назвал плюраном, рутением и полинием.[7] Это несоответствие привело к давним спорам между Берцелиусом и Осанном по поводу состава остатков.[39] Поскольку Осанн не смог повторить свое выделение рутения, он в конце концов отказался от своих требований.[39][40] Название «рутений» было выбрано Осанном, потому что анализируемые образцы происходили с Уральских гор в России.[41] Само название происходит от Малороссия, латинское слово для Русь, исторический район, который включал в себя современный Украина, Беларусь, западный Россия, и части Словакия и Польша.

В 1844 г. Карл Эрнст Клаус, российский ученый Балтийский немец спуск, показал, что соединения, приготовленные Готфридом Осанном, содержат небольшое количество рутения, которое Клаус имел обнаруженный В том же году.[7][35] Клаус выделил рутений из платиновых остатков рублевого производства, когда работал в Казанский университет, Казань,[39] точно так же, как его более тяжелый конгенер осмий был открыт четырьмя десятилетиями ранее.[17] Клаус показал, что оксид рутения содержит новый металл, и получил 6 граммов рутения из части сырой платины, нерастворимой в царская водка.[39] Выбирая имя для нового элемента, Клаус заявил: «Я назвал новое тело в честь моей Родины рутением. Я имел полное право называть его этим именем, потому что г-н Осанн отказался от своего рутения, а это слово еще не существует. по химии ".[39][42]

Приложения

Примерно 30,9 тонны рутения было израсходовано в 2016 году, из них 13,8 тонны в электротехнике, 7,7 тонны в катализе и 4,6 в электрохимии.[20]

Поскольку он упрочняет сплавы платины и палладия, рутений используется в электрические контакты, где тонкой пленки достаточно для достижения желаемой прочности. Обладая аналогичными свойствами и более низкой стоимостью, чем у родия,[27] электрические контакты - основное применение рутения.[18][43] Пластина рутения наносится на электрический контакт и основной металл электрода путем гальваники.[44] или же распыление.[45]

Диоксид рутения с вести и висмут рутенаты используются в толстопленочных чип-резисторах.[46][47][48] На эти два электронных приложения приходится 50% потребления рутения.[16]

Рутений редко легируют металлами, не относящимися к платиновой группе, где небольшие количества улучшают некоторые свойства. Дополнительная коррозионная стойкость в титан Сплавы привели к разработке специального сплава с 0,1% рутения.[49] Рутений также используется в некоторых современных высокотемпературных монокристаллах. суперсплавы, с приложениями, которые включают турбины в реактивные двигатели. Описано несколько композиций суперсплавов на основе никеля, таких как ЭПМ-102 (с 3% Ru), TMS-162 (с 6% Ru), TMS-138,[50] и ТМС-174,[51][52] последние два содержат 6% рений.[53] Перьевая ручка наконечники перьев часто покрыты рутениевым сплавом. С 1944 г. Паркер 51 Перьевая ручка была снабжена пером «RU», пером из золота 585 пробы с наконечником 96,2% рутения и 3,8% иридий.[54]

Рутений входит в состав смешанный оксид металлов (MMO) аноды, используемые для катодной защиты подземных и подводных конструкций, а также для электролитических ячеек для таких процессов, как производство хлора из соленой воды.[55] В флуоресценция некоторых комплексов рутения тушится кислородом, находя применение в оптод датчики кислорода.[56] Рутений красный, [(NH3)5Ру-О-Ру (NH3)4-O-Ru (NH3)5]6+, это биологическое пятно используется для окрашивания полианионный молекулы, такие как пектин и нуклеиновые кислоты за световая микроскопия и электронная микроскопия.[57] Бета-распадающийся изотоп 106 рутения используется в лучевой терапии опухолей глаза, в основном злокачественные меланомы из увеа.[58] Рутенийцентрированные комплексы исследуются на предмет возможных противораковых свойств.[59] По сравнению с комплексами платины комплексы рутения обладают большей устойчивостью к гидролизу и более избирательным действием на опухоли.[нужна цитата ]

Четырехокись рутения обнажает скрытые отпечатки пальцев, реагируя при контакте с жирными маслами или жирами с сальными загрязнениями и выделяя коричневый / черный пигмент диоксида рутения.[60]

Галлуазит нанотрубки, интеркалированные каталитическими наночастицами рутения.[61]

Катализ

Многие рутенийсодержащие соединения обладают полезными каталитическими свойствами. Катализаторы удобно разделить на растворимые в реакционной среде. гомогенные катализаторы, и те, которых нет, которые называются гетерогенные катализаторы.

Наночастицы рутения могут образовываться внутри галлуазит. Этот обильный минерал естественным образом имеет структуру свернутых нанолистов (нанотрубок), которые могут поддерживать синтез нанокластеров Ru и его продукты для последующего использования в промышленном катализе.[61]

Гомогенный катализ

Решения, содержащие трихлорид рутения очень активны для метатезис олефинов. Такие катализаторы коммерчески используются, например, для производства полинорборнена.[62] Хорошо выраженный рутений карбен и алкилиден комплексы демонстрируют сравнимую реакционную способность и дают представление о механизме производственных процессов.[63] В Катализаторы Граббса например, были использованы при приготовлении лекарств и современных материалов.

RuCl3катализированный метатезис полимеризация с раскрытием цикла реакция, дающая полинорборнен ..

Комплексы рутения являются высокоактивными катализаторами перенос гидрирования (иногда называемые реакциями «заимствования водорода»). Этот процесс используется для энантиоселективное гидрирование из кетоны, альдегиды, и имины. Эта реакция использует хиральный комплексы рутения, введенные Рёдзи Нойори.[64] Например, (цимен) Ru (S, S-TsDPEN ) катализирует гидрирование из бензил в (R, R) -гидробензоин. В этой реакции форматировать и вода / спирт служат источником H2:[65][66]

[RuCl (S,S-ЦДПЕН) (цимен)] - катализированный (р,р) -гидробензоиновый синтез (выход 100%, ее >99%)

А Нобелевская премия по химии был награжден в 2001 г. Рёдзи Ноёри за вклад в сферу асимметричное гидрирование.

В 2012 году Масааки Китано и его сотрудники, работая с органическим рутениевым катализатором, продемонстрировали синтез аммиака с использованием стабильного электрида в качестве донора электронов и обратимого накопителя водорода.[67] Мелкомасштабное прерывистое производство аммиака для местного сельскохозяйственного использования может быть жизнеспособной заменой подключения к электросети в качестве поглотителя энергии, вырабатываемой ветряными турбинами в изолированных сельских установках.[нужна цитата ]

Гетерогенный катализ

Кобальтовые катализаторы, промотированные рутением, используются в Синтез Фишера-Тропша.[68]

Новые приложения

Некоторые комплексы рутения поглощать свет во всем видимом спектре и активно исследуются на предмет солнечная энергия технологии. Например, соединения на основе рутения использовались для поглощения света в сенсибилизированные красителем солнечные элементы, новый многообещающий недорогая солнечная батарея система.[69]

Многие оксиды на основе рутения проявляют очень необычные свойства, такие как квантовая критическая точка поведение,[70] экзотика сверхпроводимость (в своем рутенат стронция форма),[71] и высокотемпературный ферромагнетизм.[72]

Применение тонких пленок рутения в микроэлектронике

Относительно недавно рутений был предложен в качестве материала, который может успешно заменить другие металлы и силициды в компонентах микроэлектроники. Четырехокись рутения (RuO4) очень летуч, как и триоксид рутения (RuO3).[73] Окисляя рутений (например, кислородной плазмой) до летучих оксидов, рутений можно легко структурировать.[74][75][76][77] Свойства обычных оксидов рутения делают рутений металлом, совместимым с методами обработки полупроводников, необходимыми для производства микроэлектроники.

Для продолжения миниатюризации микроэлектроники по мере изменения размеров необходимы новые материалы. Тонкие пленки рутения имеют три основных применения в микроэлектронике. Первый - использование тонких пленок рутения в качестве электродов с обеих сторон пятиокиси тантала (Ta2О5) или титанат бария-стронция ((Ba, Sr) TiO3, также известный как BST) в следующем поколении трехмерных динамическая память с произвольным доступом (DRAM).[78][79][80] Тонкопленочные электроды из рутения также могут быть нанесены на титанат цирконата свинца (Pb (ZrИксTi1-х) O3, также известный как PZT) в другом виде баран, сегнетоэлектрическая оперативная память (КАДР).[81][82] Платина использовалась в качестве электродов в RAM в лабораторных условиях, но на ней сложно создать рисунок. Рутений химически подобен платине, сохраняя функцию RAM, но легко в отличие от Pt-структур. Во-вторых, тонкие пленки рутения используются в качестве металлических затворов в полевых транзисторах металл-оксид-полупроводник, легированных p-типом (p-MOSFET).[83] При замене силицид ворота с металлическими воротами в МОП-транзисторы, ключевым свойством металла является его рабочая функция. Рабочая функция должна соответствовать окружающим материалам. Для p-MOSFET работа выхода рутения - это лучшее соответствие свойств материала с окружающими материалами, такими как HfO.2, HfSiOИкс, HfNOИкс, и HfSiNOИкс, чтобы достичь желаемых электрических свойств. Третье крупномасштабное применение рутениевых пленок - это комбинация промотора адгезии и гальванического затравочного слоя между TaN и Cu в процессе двойного дамасцена меди.[84][85][86][87][88] Медь может быть нанесена гальваническим способом непосредственно на рутений,[89] в отличие от нитрида тантала. Медь также плохо прилипает к TaN, но хорошо к Ru. Нанесение слоя рутения на барьерный слой TaN улучшит адгезию меди и отпадает необходимость в нанесении затравочного слоя меди.

Есть и другие варианты использования. В 1990 г. IBM ученые обнаружили, что тонкий слой атомов рутения создает сильную антипараллельную связь между соседними ферромагнитный слоев, более прочных, чем любой другой немагнитный элемент разделительного слоя. Такой слой рутения использовался в первом гигантский магниторезистивный читать элемент для жесткие диски. В 2001 году IBM анонсировала слой рутения толщиной в три атома, неофициально называемый «пикси-пылью», который позволит в четыре раза увеличить плотность данных на современных жестких дисках.[90]

Влияние на здоровье

Мало что известно о влиянии рутения на здоровье[91] и люди относительно редко встречаются с соединениями рутения.[92] Металлический рутений - это инертный (не является химически реактивный ).[91] Некоторые соединения, такие как оксид рутения (RuO4) очень токсичны и летучие.[92]

Смотрите также

Примечания

  1. ^ Было принято давать вновь обнаруженным элементам латинские названия (например, лютеций и гафний, оба обнаружены в начале 20 века, названы в честь латинских названий Париж и Копенгаген ). Клаус решил назвать стихию «В честь моей Родины»,[4] а Клаус был русским подданным; поэтому он выбрал латинское название России, которое использовалось в то время, Малороссия, как основание для его имени.
    В современной латыни (а также в современном английском) Россию обычно называют Россия, и имя Малороссия означает область, край внутри и вокруг Закарпатская область на западе Украина.

Рекомендации

  1. ^ Мейя, Юрис; и другие. (2016). «Атомный вес элементов 2013 (Технический отчет IUPAC)». Чистая и прикладная химия. 88 (3): 265–91. Дои:10.1515 / pac-2015-0305.
  2. ^ «Рутений: данные фторидного соединения рутения (I)». OpenMOPAC.net. Получено 10 декабря 2007.
  3. ^ а б Хейнс, стр. 4,130
  4. ^ Мэтти, Джонсон. «Открытие рутения». Обзор технологий Johnson Matthey. Получено 25 августа 2020.
  5. ^ Резюме. Рутений. platinum.matthey.com, стр. 9 (2009)
  6. ^ Отчет о рынке PGM. platinum.matthey.com, стр. 30 (мая 2018)
  7. ^ а б c d е ж грамм час Хейнс, стр. 4,31
  8. ^ Гринвуд и Эрншоу, стр. 1076
  9. ^ Гринвуд и Эрншоу, стр. 1078
  10. ^ Гринвуд и Эрншоу, стр. 1075
  11. ^ а б Гринвуд и Эрншоу, стр. 1074
  12. ^ Гринвуд и Эрншоу, стр. 1077
  13. ^ а б c Лиде, Д. Р., изд. (2005). CRC Справочник по химии и физике (86-е изд.). Бока-Ратон (Флорида): CRC Press. ISBN  0-8493-0486-5. Раздел 11, Таблица изотопов
  14. ^ а б c Ауди, Жорж; Берсильон, Оливье; Blachot, Жан; Вапстра, Алдерт Хендрик (2003), "ТогдаUBASE оценка ядерных и распадных свойств », Ядерная физика A, 729: 3–128, Bibcode:2003НуФА.729 .... 3А, Дои:10.1016 / j.nuclphysa.2003.11.001
  15. ^ Masson, O .; Steinhauser, G .; Зок, Д .; Saunier, O .; Ангелов, H .; Бабич, Д .; Бечкова, В .; Bieringer, J .; Bruggeman, M .; Burbidge, C.I .; Conil, S .; Dalheimer, A .; De Geer, L.-E .; De Vismes Ott, A .; Eleftheriadis, K .; Estier, S .; Fischer, H .; Garavaglia, M. G .; Gasco Leonarte, C .; Gorzkiewicz, K .; Hainz, D .; Hoffman, I .; Hýža, M .; Исаенко, К .; Karhunen, T .; Kastlander, J .; Katzlberger, C .; Керепко, Р .; Knetsch, G.-J .; и другие. (2019). «Концентрации в воздухе и химические аспекты радиоактивного рутения в результате необъявленного крупного ядерного выброса в 2017 году». PNAS. 116 (34): 16750–16759. Bibcode:2019ПНАС..11616750М. Дои:10.1073 / пнас.1907571116. ЧВК  6708381. PMID  31350352.
  16. ^ а б c d Эмсли, Дж. (2003). "Рутений". Строительные блоки природы: руководство по элементам от А до Я. Оксфорд, Англия, Великобритания: Издательство Оксфордского университета. стр.368–370. ISBN  978-0-19-850340-8.
  17. ^ а б Гринвуд и Эрншоу, стр. 1071
  18. ^ а б c Джордж, Майкл В. «Ежегодник полезных ископаемых 2006 г .: металлы платиновой группы» (PDF). Геологическая служба США USGS. Получено 16 сентября 2008.
  19. ^ а б «Товарный отчет: металлы платиновой группы» (PDF). Геологическая служба США USGS. Получено 16 сентября 2008.
  20. ^ а б Лоферски, Патриция Дж .; Галаини, Захари Т. и Сингерлинг, Шерил А. (2018) Металлы платиновой группы. Ежегодник полезных ископаемых 2016. USGS. п. 57,3.
  21. ^ Hartman, H.L .; Бриттон, С. Г., ред. (1992). Справочник по горному делу для малого и среднего бизнеса. Литтлтон, Колорадо: Горное, металлургическое и разведочное общество. п. 69. ISBN  978-0-87335-100-3.
  22. ^ Харрис, Дональд С .; Кабри, Л. Дж. (1973). «Номенклатура природных сплавов осмия, иридия и рутения, основанная на новых данных о составе сплавов из мировых источников». Канадский минералог. 12 (2): 104–112.
  23. ^ Renner, H .; Schlamp, G .; Kleinwächter, I .; Drost, E .; Lüschow, H.M .; Tews, P .; Panster, P .; Diehl, M .; Lang, J .; Kreuzer, T .; Knödler, A .; Starz, K. A .; Dermann, K .; Rothaut, J .; Дризельман, Р. (2002). «Металлы и соединения платиновой группы». Энциклопедия промышленной химии Ульмана. Вайли. Дои:10.1002 / 14356007.a21_075. ISBN  978-3527306732.
  24. ^ Сеймур, Р. Дж .; О'Фаррелли, Дж. И. (2001). «Металлы платиновой группы». Энциклопедия химической технологии Кирка Отмера. Вайли. Дои:10.1002 / 0471238961.1612012019052513.a01.pub2. ISBN  978-0471238966.
  25. ^ Гилкрист, Роли (1943). «Платиновые металлы». Химические обзоры. 32 (3): 277–372. Дои:10.1021 / cr60103a002.
  26. ^ а б c Коттон, Саймон (1997). Химия драгоценных металлов. Springer-Verlag New York, LLC. С. 1–20. ISBN  978-0-7514-0413-5.
  27. ^ а б Хант, Л. Б .; Рычаг, Ф. М. (1969). «Платиновые металлы: обзор производственных ресурсов для промышленного использования» (PDF). Обзор платиновых металлов. 13 (4): 126–138.
  28. ^ Swain, P .; Маллика, Ц .; Srinivasan, R .; Mudali, U.K .; Натараджан, Р. (2013). «Разделение и извлечение рутения: обзор». J. Radioanal. Nucl. Chem. 298 (2): 781–796. Дои:10.1007 / s10967-013-2536-5. S2CID  95804621.CS1 maint: использует параметр авторов (связь)
  29. ^ Greenwood, N. N .; И Эрншоу, А. (1997). Химия элементов (2-е изд.), Оксфорд: Баттерворт-Хайнеманн. ISBN  0-7506-3365-4.
  30. ^ а б Гринвуд и Эрншоу, стр. 1080–1.
  31. ^ а б Гринвуд и Эрншоу, стр. 1082
  32. ^ а б c Гринвуд и Эрншоу, стр. 1083
  33. ^ а б Гринвуд и Эрншоу, стр. 1084
  34. ^ Хартвиг, Дж. Ф. (2010) Химия органических переходных металлов, от связывания до катализа, University Science Books: Нью-Йорк. ISBN  1-891389-53-X
  35. ^ а б Недели, Мэри Эльвира (1932). «Открытие элементов. VIII. Платиновые металлы». Журнал химического образования. 9 (6): 1017. Bibcode:1932JChEd ... 9.1017W. Дои:10.1021 / ed009p1017.
  36. ^ Рауб, Кристоф Дж. (2004). «Чеканка платиновых рублей. Часть I: История и текущие исследования». 48 (2): 66–69. Цитировать журнал требует | журнал = (помощь) Архив
  37. ^ Енджей Снядецкий (1808). Росправа о новом металле в суровей платине одкрытым (по польски). Вильно: Накл. i Drukiem J. Zawadzkiego. (Диссертация о новом металле, обнаруженном в необработанной платине.)
  38. ^ «Новые металлы на Уральской Платине». Философский журнал. 2 (11): 391–392. 1827. Дои:10.1080/14786442708674516.
  39. ^ а б c d е Пичков, В. Н. (1996). «Открытие рутения». Обзор платиновых металлов. 40 (4): 181–188.
  40. ^ Осанн, Готфрид (1829). "Berichtigung, meine Untersuchung des uralschen Platins Betreffend". Poggendorffs Annalen der Physik und Chemie. 15: 158. Дои:10.1002 / andp.18290910119.
  41. ^ Осанн, Готфрид (1828). "Fortsetzung der Untersuchung des Platins vom Ural". Poggendorffs Annalen der Physik und Chemie. 14 (6): 283–297. Bibcode:1828АнП .... 89..283О. Дои:10.1002 / andp.18280890609. Исходное предложение на п. 339 гласит: «Da dieses Metall, welches ich nach den so eben beschriebenen Eigenschaften als ein neues glaube annehmen zu müssen, sich in größerer Menge als das früher erwähnte in dem uralschen Platin befindet, und auch durchen mehrishen Schönen Schönen, und auch durchen demolien schönen Schönen Schönen”. empfiehlt, so glaube ich, daß der Vorschlag, das zuerst aufgefundene neue Metall Ruthenium zu nennen, besser auf dieses angewendet werden könne ».
  42. ^ Клаус, Карл (1845). «Способе добычи чистой платины из руд». Горный журнал (Горный журнал) (на русском). 7 (3): 157–163.
  43. ^ Рао, К; Триведи, Д. (2005). «Химические и электрохимические осаждения металлов платиновой группы и их применения». Обзоры координационной химии. 249 (5–6): 613. Дои:10.1016 / j.ccr.2004.08.015.
  44. ^ Вайсберг, А (1999). «Рутениевое покрытие». Металлическая отделка. 97: 297. Дои:10.1016 / S0026-0576 (00) 83089-5.
  45. ^ Подготовлено под руководством Международного комитета справочников ASM; Меррил Л. Мингес, технический председатель (1989 г.). Справочник электронных материалов. Парк материалов, Огайо: ASM International. п. 184. ISBN  978-0-87170-285-2.
  46. ^ Busana, M.G .; Prudenziati, M .; Хормадали, Дж. (2006). «Развитие микроструктуры и электрические свойства RuO2толстопленочные резисторы на основе бессвинцовых ". Журнал материаловедения: материалы в электронике. 17 (11): 951. Дои:10.1007 / s10854-006-0036-х. HDL:11380/303403. S2CID  135485712.
  47. ^ Рэйн, Сунит; Пруденциати, Мария; Мортен, Бруно (2007). «Экологически чистые толстопленочные резисторы на основе перовскита и рутената». Письма о материалах. 61 (2): 595. Дои:10.1016 / j.matlet.2006.05.015. HDL:11380/307664.
  48. ^ Слэйд, Пол Г., изд. (1999). Электрические контакты: принципы и применение. Нью-Йорк, Нью-Йорк: Деккер. С. 184, 345. ISBN  978-0-8247-1934-0.
  49. ^ Шютц, Р. В. (1996). «Титановые сплавы, обогащенные рутением» (PDF). Обзор платиновых металлов. 40 (2): 54–61.
  50. ^ «Монокристаллический суперсплав на никелевой основе четвертого поколения. ТМС-138 / 138А» (PDF). Центр высокотемпературных материалов, Национальный институт материаловедения, Япония. Июль 2006 г. Архивировано с оригинал (PDF) 18 апреля 2013 г.
  51. ^ Коидзуми, Ютака; и другие. «Разработка монокристаллического суперсплава на никелевой основе нового поколения» (PDF). Материалы Международного конгресса по газовым турбинам, Токио, 2–7 ноября 2003 г.. Архивировано из оригинал (PDF) 10 января 2014 г.
  52. ^ Walston, S .; Cetel, A .; MacKay, R .; О'Хара, К .; Duhl, D .; Дрешфилд, Р. (декабрь 2004 г.). «Совместная разработка монокристаллического суперсплава четвертого поколения» (PDF). НАСА.
  53. ^ Бондаренко, Ю. А .; Каблов, Э. Н .; Сурова, В. А .; Эчин, А. Б. (2006). «Влияние высокоградиентной направленной кристаллизации на структуру и свойства ренийсодержащего монокристаллического сплава». Металловедение и термическая обработка. 48 (7–8): 360. Bibcode:2006МШТ ... 48..360Б. Дои:10.1007 / s11041-006-0099-6. S2CID  136907279.
  54. ^ Моттишоу, Дж. (1999). «Заметки из« Пера ». Где Иридиум?». ПЕНнант. XIII (2). Архивировано из оригинал 4 июня 2002 г.
  55. ^ Кардарелли, Франсуа (2008). «Аноды с стабильными размерами (DSA) для выделения хлора». Справочник по материалам: краткий настольный справочник. Лондон: Спрингер. С. 581–582. ISBN  978-1-84628-668-1.
  56. ^ Варни, Марк С. (2000). «Кислородный микрооптод». Химические сенсоры в океанографии. Амстердам: Гордон и Брич. п. 150. ISBN  978-90-5699-255-2.
  57. ^ Хаят, М.А. (1993). «Рутений красный». Пятна и цитохимические методы. Нью-Йорк, штат Нью-Йорк: Plenum Press. стр.305–310. ISBN  978-0-306-44294-0.
  58. ^ Вигель, Т. (1997). Лучевая терапия глазных болезней, Ausgabe 13020. Базель, Фрайбург: Каргер. ISBN  978-3-8055-6392-5.
  59. ^ Richards, A.D .; Роджер, А. (2007). «Синтетические металломолекулы как средства контроля структуры ДНК» (PDF). Chem. Soc. Rev. 36 (3): 471–483. Дои:10.1039 / b609495c. PMID  17325786.
  60. ^ Резюме NCJRS - Национальная справочная служба по уголовному правосудию. Ncjrs.gov. Проверено 28 февраля 2017.
  61. ^ а б Винокуров Владимир А .; Ставицкая, Анна В .; Чудаков, Ярослав А .; Иванов, Евгений В .; Шреста, Лок Кумар; Арига, Кацухико; Даррат, Юсуф А .; Львов, Юрий М. (2017). «Формирование металлических кластеров в нанотрубках галлуазитовой глины». Наука и технология перспективных материалов. 18 (1): 147–151. Bibcode:2017STAdM..18..147V. Дои:10.1080/14686996.2016.1278352. ЧВК  5402758. PMID  28458738.
  62. ^ Делод, Лайонел и Ноэлс, Альфред Ф. (2005). «Метатезис». Энциклопедия химической технологии Кирка-Отмера. Вайнхайм: Wiley-VCH. Дои:10.1002 / 0471238961.metanoel.a01. ISBN  978-0471238966.CS1 maint: использует параметр авторов (связь)
  63. ^ Фюрстнер, Алоис (2000). «Олефиновый метатезис и не только». Angewandte Chemie International Edition. 39 (17): 3012–3043. Дои:10.1002 / 1521-3773 (20000901) 39:17 <3012 :: AID-ANIE3012> 3.0.CO; 2-G. PMID  11028025.
  64. ^ Noyori, R .; Окума, Т .; Китамура, М .; Takaya, H .; Sayo, N .; Kumobayashi, H .; Акутагава, С. (1987), "Асимметричное гидрирование эфиров β-кетокарбоновых кислот. Практический чисто химический доступ к сложным β-гидроксиэфирам с высокой энантиомерной чистотой", Журнал Американского химического общества, 109 (19): 5856, Дои:10.1021 / ja00253a051
  65. ^ Икария, Такао; Хасигучи, Шохей; Мурата, Кунихико и Нойори, Рёдзи (2005). «Получение оптически активного (R, R) -гидробензоина из бензоина или бензила». Органический синтез: 10.CS1 maint: несколько имен: список авторов (связь)
  66. ^ Чен, Фэй (2015). «Синтез оптически активных 1,2,3,4-тетрагидрохинолинов путем асимметричного гидрирования с использованием иридий-диаминового катализатора». Орг. Синтезатор. 92: 213–226. Дои:10.15227 / orgsyn.092.0213.
  67. ^ Китано, Масааки; Иноуэ, Ясунори; Ямазаки, Юхей; Хаяси, Фумитака; Канбара, Синдзи; Мацуиси, Сатору; Ёкояма, Тошихару; Ким, Сун-Ван; Хара, Митиказу; Хосоно, Хидео (2012). «Синтез аммиака с использованием стабильного электрида в качестве донора электронов и обратимого накопителя водорода». Химия природы. 4 (11): 934–940. Bibcode:2012НатЧ ... 4..934К. Дои:10.1038 / nchem.1476. PMID  23089869.
  68. ^ Шульц, Ганс (1999). «Краткая история и современные тенденции синтеза Фишера – Тропша». Прикладной катализ A: Общие. 186 (1–2): 3–12. Дои:10.1016 / S0926-860X (99) 00160-X.
  69. ^ Куанг, Дайбинь; Ито, Сейго; Венгер, Бернард; Кляйн, Седрик; Мозер, Жак-Э; Хамфри-Бейкер, Робин; Zakeeruddin, Shaik M .; Гретцель, Майкл (2006). «Гетеролептические комплексы рутения с высоким молярным коэффициентом экстинкции для тонкопленочных солнечных элементов, сенсибилизированных красителем». Журнал Американского химического общества. 128 (12): 4146–54. Дои:10.1021 / ja058540p. PMID  16551124. S2CID  39111991.
  70. ^ Perry, R .; Китагава, К .; Grigera, S .; Borzi, R .; MacKenzie, A .; Ishida, K .; Маэно, Ю. (2004). «Множественные метамагнитные переходы первого порядка и квантовые колебания в сверхчистых частицах Sr.3RU2О7". Письма с физическими проверками. 92 (16): 166602. arXiv:cond-mat / 0401371. Bibcode:2004ПхРвЛ..92п6602П. Дои:10.1103 / PhysRevLett.92.166602. PMID  15169251. S2CID  26241456.
  71. ^ Маэно, Йошитеру; Райс, Т. Морис; Сигрист, Манфред (2001). «Интригующая сверхпроводимость рутената стронция» (PDF). Физика сегодня. 54 (1): 42. Bibcode:2001ФТ .... 54а..42М. Дои:10.1063/1.1349611.
  72. ^ Шлык, Лариса; Крюков, Сергей; Schüpp-Niewa, Барбара; Нева, Райнер; Де Лонг, Лэнс Э. (2008). «Высокотемпературный ферромагнетизм и перестраиваемая полупроводимость (Ba, Sr) M2 ± хRU4∓xО11 (M = Fe, Co): новая парадигма спинтроники ». Современные материалы. 20 (7): 1315. Дои:10.1002 / adma.200701951.
  73. ^ Wei, P .; Десу, С. Б. (1997). «Реактивное ионное травление RuO2 фильмы: роль аддитивных газов в O2 увольнять". Physica Status Solidi A. 161 (1): 201–215. Bibcode:1997PSSAR.161..201P. Дои:10.1002 / 1521-396X (199705) 161: 1 <201 :: AID-PSSA201> 3.0.CO; 2-U.
  74. ^ Lesaicherre, P. Y .; Yamamichi, S .; Takemura, K .; Yamaguchi, H .; Токашики, К .; Miyasaka, Y .; Yoshida, M .; Оно, Х. (1995). "Пакетный конденсатор DRAM масштабом Гбит с ECR MOCVD SrTiO3 поверх RIE с рисунком RuO2/ Узлы хранения TiN ». Интегрированные сегнетоэлектрики. 11 (1–4): 81–100. Дои:10.1109 / IEDM.1994.383296. ISBN  0-7803-2111-1. S2CID  113907761.
  75. ^ Pan, W .; Десу, С. Б. (1994). «Реактивное ионное травление RuO2, Тонкие пленки на газовой смеси O2 CF3CFH2". Журнал вакуумной науки и техники B. 12 (6): 3208–3213. Bibcode:1994JVSTB..12.3208P. Дои:10.1116/1.587501.
  76. ^ Виджай, Д. П .; Desu, S. B .; Пан, W. (1993). «Реактивное ионное травление тонкопленочных конденсаторов свинца-цирконата-титаната (PZT)». Журнал Электрохимического общества. 140 (9): 2635–2639. Bibcode:1993JELS..140.2635V. Дои:10.1149/1.2220876.CS1 maint: несколько имен: список авторов (связь)
  77. ^ Сайто, S .; Курамасу, К. (1992). «Плазменное травление RuO2 тонкие пленки ». Японский журнал прикладной физики. 31 (1): 135–138. Bibcode:1992JaJAP..31..135S. Дои:10.1143 / JJAP.31.135.
  78. ^ Аояма, Т; Егучи, К. (1999). «Пленки рутения, полученные методом химического осаждения из паровой фазы с использованием бис (этилциклопентадиенил) рутения». Японский журнал прикладной физики. 38 (10A): 1134–6. Bibcode:1999JaJAP..38L1134A. Дои:10.1143 / JJAP.38.L1134.
  79. ^ Иидзука, Т; Арита, К; Ямамото, я; Ямамичи, S (2001). "(Ba, Sr) TiO3 тонкопленочные конденсаторы с Ru-электродами для применения в процессах ULSI ». NEC Исследования и разработки. 42: 64–9.
  80. ^ Yamamichi, S .; Lesaicherre, P .; Yamaguchi, H .; Takemura, K .; Sone, S .; Yabuta, H .; Sato, K .; Тамура, Т .; Накадзима, К. (1997). «Технология многоярусных конденсаторов с плазменным ЭЦР MOCVD (Ba, Sr) TiO3 и РуО2/ Ru / TiN / TiSiИкс узлы хранения для DRAM масштаба Гб ». Транзакции IEEE на электронных устройствах. 44 (7): 1076–1083. Bibcode:1997ITED ... 44.1076Y. Дои:10.1109/16.595934.
  81. ^ Бандару, Дж; Пески, Т; Цакалакос, Л. (1998). «Схема простого Ru-электрода для сегнетоэлектрика (Pb, La) (Zr, Ti) O3 конденсаторы прямо на кремнии ». Журнал прикладной физики. 84 (2): 1121–1125. Bibcode:1998JAP .... 84.1121B. Дои:10.1063/1.368112.
  82. ^ Maiwa, H; Ихиносе, N; Окадзаки, К. (1994). «Приготовление и свойства Ru и RuO2 тонкопленочные электроды для тонких сегнетоэлектрических пленок ». Jpn. J. Appl. Phys. 33 (9B): 5223–6. Bibcode:1994ЯЯП..33.5223М. Дои:10.1143 / JJAP.33.5223.
  83. ^ Мисра, V; Луковский, Г; Парсонс, Г. (2002). «Проблемы в интерфейсах стека затворов с высоким значением каппа». Бюллетень MRS. 27 (3): 212–216. Дои:10.1557 / mrs2002.73.
  84. ^ Чан, Р; Арунагири, Т. Н; Zhang, Y; Чиан, О; Уоллес, Р. М.; Kim, M.J; Херд, Т.К. (2004). "Исследования диффузии меди на тонкой пленке рутения". Электрохимические и твердотельные буквы. 7 (8): G154 – G157. Дои:10.1149/1.1757113.
  85. ^ Чо, С.К .; Ким, С.К .; Ким, Дж. Дж; О, С. М; О, Сын Мо (2004). "Электроосаждение дамасценовой меди на тонкопленочный барьер Ru, выращенный методом химического осаждения металлов из газовой фазы". Журнал вакуумной науки и техники B. 22 (6): 2649–2653. Bibcode:2004JVSTB..22.2649C. Дои:10.1116/1.1819911.
  86. ^ Чиан, О; Арунагири, Т. Н; Поннусвами, Т. (2003). «Электроосаждение тонкой пленки меди на рутении». Журнал Электрохимического общества. 150 (5): C347 – C350. Дои:10.1149/1.1565138.
  87. ^ Квон, О.-К; Квон, С.-Х; Парк, H.-S; Канг, С.-З (2004). «PEALD адгезионного слоя рутения для медных межсоединений». Журнал Электрохимического общества. 151 (12): C753 – C756. Bibcode:2004JELS..151C.753K. Дои:10.1149/1.1809576.
  88. ^ Квон, О.-К; Kim, J.-H; Парк, H.-S; Канг, С.-З (2004). «Атомно-слоистое осаждение тонких пленок рутения для медного клеевого слоя». Журнал Электрохимического общества. 151 (2): G109 – G112. Bibcode:2004JELS..151G.109K. Дои:10.1149/1.1640633.
  89. ^ Moffat, T. P .; Уокер, М .; Chen, P.J .; Bonevich, J.E .; Egelhoff, W. F .; Richter, L .; Witt, C .; Aaltonen, T .; Ритала, М. (2006). «Электроосаждение Cu на барьерные слои Ru для обработки дамасского камня». Журнал Электрохимического общества. 153 (1): C37 – C50. Bibcode:2006JELS..153C..37M. Дои:10.1149/1.2131826.
  90. ^ Хейс, Брайан (2002). «Терабайтная территория». Американский ученый. 90 (3): 212. Дои:10.1511/2002.9.3287.
  91. ^ а б "Рутений". www.espimetals.com. Получено 26 июля 2020.
  92. ^ а б «Рутений (Ru) - Химические свойства, воздействие на здоровье и окружающую среду». www.lenntech.com. Получено 26 июля 2020.

Библиография

внешняя ссылка